1974年第一臺以德國斯派克等離子質(zhì)譜儀作為激發(fā)光源的ICP發(fā)射光譜儀問世。1983年ICP質(zhì)譜儀開始推出，并很快確立了基市場地位。ICP質(zhì)譜具有靈敏感度、極少的干憂，使分析結(jié)果更為精確，由于ICP質(zhì)譜的檢出限極低所以，所以儀器需要在潔凈室中動行，以免受環(huán)境污染的影響。

SPECTRO新推出SPECTRO MS型ICP質(zhì)譜儀是現(xiàn)代科學技術(shù)的重大突破，是全新性能與優(yōu)勢的展現(xiàn)，SPECTRO MS 是目前市場上從6Li到238U質(zhì)量范圍全譜同時測量的ICP質(zhì)譜儀，它使IPC質(zhì)譜儀的能力從時序掃描測量跨躍到全譜同時測量的新階段，不僅提高了測量的精密度和準確度，同時也大大縮短了樣品的測量時間。

這種革命性技術(shù)的核心是雙聚焦Mattauch-Herzog扇形場質(zhì)譜技術(shù)，與全新的同時俘獲全部離子檢測器的組合。SPECTRO MS所采用的檢器為“直接電荷檢測器（DCD）"，具有4800個通道同，時俘獲全部同位素。在同時檢測模式下所，需檢測的質(zhì)不再像傳統(tǒng)的ICP質(zhì)譜儀那樣順序測量花費時間，而是瞬間同獲取全部的質(zhì)譜。每次測量的全質(zhì)譜信息可保存，事后處理分析。

SPECTRO MS每個組件都經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計和佳選擇具，有杰出的分析性能而且操作簡單。其便函于維護的整體設(shè)計，采用了可靠耐用的真空系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng)，靈活的進樣系統(tǒng)，耐鹽分的接口，極為高效的離子透鏡和非常簡易的操作，SPECTRO MS具有許多仗勢。

MS是世界ICP - MS同時記錄測量從6Li到238U所有元素 - 結(jié)合優(yōu)良的檢測限和測量時間短精度高。分析性能，極磊地減少了測量時間可，方便地連接各種附件和自動裝置，實現(xiàn)無人值守操作。SPECTRO MS大多數(shù)的分析應用要求可廣泛地應用于院校與工業(yè)研究機構(gòu)、地質(zhì)、礦產(chǎn)與金屬工業(yè)農(nóng)業(yè)與食品、環(huán)境、石油、化學工業(yè)、核工業(yè)、醫(yī)學、生物與制藥、半導體等而下之領(lǐng)域。新應用技術(shù)，尤其是結(jié)合種分離技術(shù)的應用在不斷發(fā)展，而SPECTROMS是承擔這些任務(wù)的選擇。

德國斯派克等離子質(zhì)譜儀