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德國Phsytech深能級瞬態(tài)譜 DLTS
深能級瞬態(tài)譜DLTS我們在1990年推出了*數(shù)字DLTS，隨著電腦技術的發(fā)展，使得在短時間內進行復雜計算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎上，用各種數(shù)學模型分析測量到的瞬態(tài)過程，如傅里葉轉換、拉普拉斯轉換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS（等溫瞬態(tài)光譜）信號重疊法、溫度掃描信號重疊法（重折疊）。與其他系統(tǒng)相比，HERA-DLTS具有*的能量分辨率。
特點
l 自動接觸檢查
l 常規(guī)測試和加強軟件
l 自動電容補償
l 三終端FET電流瞬態(tài)測量
l 大電容和濃度范圍
l 靈活性高、模塊化硬件
l 支持各種冷卻倉和溫度控制器
l 傅里葉轉換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能
l DLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評價
l 直接測量發(fā)射瞬態(tài)
l 使用28個不同的相關功能（軟件）通過一次溫度掃描，給出28個溫度掃描信號
深能級瞬態(tài)譜DLTS操作模式
l C-DLTS(電容模式)
l CC-DLTS(定電容模式)
l I-DLTS（電流模式）
l DD-DLTS（雙關聯(lián)模式）
l Zerbst-DLTS
l O-DLTS（光激發(fā)模式）
l FET-Analysis
l MOS-Analysis
l ITS（等溫瞬態(tài)光譜儀）
l 缺陷分析
l 俘獲截面測量
l I/V, I/V(T) 查理森Plot分析
l C/V, C/V(T)
l TSC/TSCAP
l PITS（光子誘導瞬態(tài)譜）
l DLOS(特殊系統(tǒng))
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