F-650 硅材料氧碳含量測試儀
- 公司名稱 杭州科博儀器有限公司
- 品牌
- 型號 F-650
- 產(chǎn)地 杭州
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2018/4/13 21:04:36
- 訪問次數(shù) 2029
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硅單晶/多晶中氧碳含量自動測量系統(tǒng)的氧碳含量技術(shù)參數(shù)符合(符合國家GB/T1557-2006)(符合國家GB/T1558-2009)
測試方法:把測量樣品用硅片固定架放入儀器樣品室,開始測量,計算機(jī)讀取1107CM-1,SI-O-SI帶特征吸收峰和607CM-1, C-SI帶特征吸收峰,由峰高法計算出硅單晶中氧碳含量. 測量硅片厚度:0.04-4.0MM, 硅片檢測下限:1.0X1016CM-3(常溫)
類 別 | 儀 器 名 稱 | 型 號 | 技 術(shù) 參 數(shù) 及 配 置 | 數(shù) 量 |
系統(tǒng) | 硅單晶/多晶中氧碳含量自動測量系統(tǒng)及反型N/P硅外延層厚度測量系統(tǒng)F-650 | 氧碳 | 1.用于硅晶體中間隙中氧、碳含量測量。檢測下線1.0x 符合國家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T1557-2006)氧,(GB/T1558-2009)碳。 2.反型N/P硅外延層厚度的紅外干涉測量。(2009年第16屆全國半導(dǎo)體、硅材料學(xué)術(shù)會議的論文) 光譜范圍:4000~ 信噪比:15000:1p-p值(測試條件:DTGS檢測器在 光 源:長壽命高強(qiáng)度空氣冷卻紅外光源(國外進(jìn)口) | 1套 |
操作系統(tǒng) | 系統(tǒng)功能 | | 用戶登錄功能 自我診斷功能 提供操作及數(shù)據(jù)處理軟件,*升級軟件 智能濕度提醒裝置:無需開機(jī)可以更換干燥保護(hù)裝置,無需開機(jī)可以調(diào)節(jié)儀器能量 | 1套 |
附 件 | 硅片樣品固定工具 | | | 1套 |
檢測軟件 | | 符合國家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T1558-2009),(GB/T1557-2006) | 1套 | |
標(biāo)準(zhǔn)硅片 | | 符合國家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T1557-2006)標(biāo)準(zhǔn)硅片 | 1套 | |
電腦及打印機(jī) | | 可通過打印機(jī)輸出結(jié)果及報告 | 1套 |