型號

Excel 1051 UM/UC

Excel 1052 UM/UC

Excel 1054 UM/UC

量測行程

1050 x 1050 x 160mm

1050 x 1050 x 250mm

1050 x 1050 x 400mm

外形尺寸

1720 x 2000 x 1650mm

1720 x 2000 x 1850mm

1720 x 2000 x 2000mm

重量

2700kg

2750kg

2850kg

光學尺解析度

0.1μm

XY 精度,E2

3.3 + L/300

3.6 + L/300

4.3 + L/200

Z 精度,E1

2.8 + L/100

3.3 + L/100

3.8 + L/100

鏡頭倍率光學,數(shù)位）

36x （12x,3x）

表面光, 輪廓光,同軸光光源

紅光LED （黑白系統(tǒng)） 白光 LED（彩色系統(tǒng)）

放大倍率

15x - 540x to 30x - 1080x

電源系統(tǒng)

93-264 VAC,47-63 Hz

工作溫度

20℃±2°

存放溫度

-25℃ ~ 60℃

工作濕度

30%-80%