KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 MU100PE

KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 MU100PE

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指無(wú)需任何工作液（如油或水）作為介質(zhì)，依靠機(jī)械結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)抽真空的一類真空獲得設(shè)備。這類泵通過(guò)精密配合的機(jī)械部件直接壓縮和排出氣體，解決了傳統(tǒng)油封式或液環(huán)式真空泵存在的介質(zhì)污染問(wèn)題。干式真空泵的發(fā)展始于20世紀(jì)80年代，隨著半導(dǎo)體、光伏等潔凈工業(yè)的需求而快速進(jìn)步，現(xiàn)已成為高科技制造領(lǐng)域不可替代的關(guān)鍵設(shè)備。

干式真空泵的顯著特點(diǎn)

無(wú)油設(shè)計(jì)：

泵腔內(nèi)無(wú)任何潤(rùn)滑介質(zhì)

抽氣過(guò)程100%無(wú)油蒸汽反流

達(dá)到ISO 8573-1 Class 0無(wú)油標(biāo)準(zhǔn)

精密機(jī)械結(jié)構(gòu)：

采用多級(jí)壓縮設(shè)計(jì)（通常3-7級(jí)）

轉(zhuǎn)子與腔體間隙控制在微米級(jí)

特殊表面處理工藝降低摩擦

介質(zhì)適應(yīng)性：

可處理腐蝕性氣體（需特殊材質(zhì)）

耐受粉塵和顆粒物（配置過(guò)濾器時(shí)）

能抽除可凝性蒸汽

智能控制系統(tǒng)：

集成溫度、振動(dòng)等多參數(shù)監(jiān)測(cè)

具備自動(dòng)過(guò)載保護(hù)功能

支持遠(yuǎn)程監(jiān)控和故障診斷

寬泛的工作范圍：

極限真空可達(dá)0.01Pa（渦輪分子泵組合時(shí)）

流量范圍從1m3/h到1000m3/h

適應(yīng)連續(xù)或間歇運(yùn)行模式