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SEC-N112MGM 熱式質(zhì)量流量控制器

參考價(jià) 8300
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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曦源科學(xué)儀器(上海)有限公司是一家專業(yè)的科學(xué)儀器供應(yīng)商,主要從事高校、科研院所、生物醫(yī)藥等生命科學(xué)領(lǐng)域?qū)嶒?yàn)室產(chǎn)品的銷售和技術(shù)服務(wù)。我公司致力于提供高品質(zhì)的科學(xué)儀器、耗材,為客戶提供整體解決方案,通過專業(yè)、細(xì)致以及全面的技術(shù)服務(wù),實(shí)現(xiàn)“為客戶提供更多價(jià)值”的承諾。公司成立以來一直與國內(nèi)外廠商保持密切聯(lián)系,不斷引進(jìn)各種優(yōu)質(zhì)的科學(xué)儀器產(chǎn)品。公司一直以“打造優(yōu)質(zhì)品牌、服務(wù)科學(xué)領(lǐng)域”的產(chǎn)品理念與社會宗旨,積極推動祖國科研事業(yè)發(fā)展。


“超微量分光光度計(jì),菌落計(jì)數(shù)儀,移液器,紫外輻照儀,紫外交聯(lián)儀,熒光蛋白激發(fā)光源,紫外燈”

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價(jià)格區(qū)間 5千-1萬 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,汽車及零部件,綜合

HORIBA SEC-N112MGM 熱式質(zhì)量流量控制器(MFC)

產(chǎn)品簡介

HORIBA SEC-N112MGM 是 HORIBA STEC 公司推出的 SEC-N100 系列中的高性能模擬型熱式質(zhì)量流量控制器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、LED 制造及液晶面板生產(chǎn)等高精度氣體控制領(lǐng)域。該設(shè)備采用熱式質(zhì)量流量計(jì)原理,結(jié)合先進(jìn)的模擬控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)高精度、高響應(yīng)速度的氣體流量控制。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 高精度控制:設(shè)定值大于 30% F.S. 時(shí),精度為 ±1.0% S.P.;設(shè)定值小于或等于 30% F.S. 時(shí),精度為 ±0.3% F.S.

  • 快速響應(yīng):采用可變 PID 控制算法,實(shí)現(xiàn) 1 秒內(nèi)快速響應(yīng),適應(yīng)不同設(shè)定點(diǎn)的變化。

  • 多種通信接口:支持模擬信號(0–5V、0–10V、4–20mA),滿足不同系統(tǒng)集成需求。

  • 全金屬結(jié)構(gòu):采用 316L 不銹鋼材質(zhì),確保設(shè)備在高純度和腐蝕性氣體環(huán)境中的穩(wěn)定性和耐用性。

  • 安裝靈活:支持任意角度安裝,便于系統(tǒng)集成和維護(hù)。

技術(shù)參數(shù)

  • 測量原理:熱式質(zhì)量流量計(jì)(Thermal Mass Flow Meter)

  • 控制方式:可變 PID 控制算法,實(shí)現(xiàn)快速穩(wěn)定的流量調(diào)節(jié)

  • 適用氣體:支持多種腐蝕性和非腐蝕性氣體,如 N?、O?、Ar、H?、SiH?、PH?、CF?、NF?、SF? 等(使用前需確認(rèn)氣體兼容性)

  • 精度說明:

    • 當(dāng)設(shè)定值大于 30% F.S. 時(shí),精度為 ±1.0% of Set Point

    • 當(dāng)設(shè)定值小于或等于 30% F.S. 時(shí),精度為 ±0.3% of Full Scale

  • 響應(yīng)時(shí)間:小于 1 秒,適應(yīng)工藝過程中的快速切換

  • 流量范圍:從 10 SCCM 到 50 SLM,根據(jù)具體型號而定,適配多種應(yīng)用需求

  • 通信接口:

    • 模擬信號:0–5V、0–10V、4–20mA

  • 電源要求:

    • 模擬型產(chǎn)品需 ±15V DC 供電

  • 工作溫度范圍:5°C 至 50°C,適用于潔凈室及標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)環(huán)境

  • 設(shè)備尺寸:約 81.8 毫米(寬)× 30.5 毫米(厚)× 126 毫米(高)

  • 產(chǎn)品重量:約 1.2 千克,結(jié)構(gòu)緊湊、便于集成

  • 安裝方式:支持面板安裝或機(jī)架安裝,方便系統(tǒng)集成

  • 產(chǎn)品認(rèn)證:符合 CE、RoHS 等國際標(biāo)準(zhǔn)(依據(jù)型號)

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體工藝氣體輸送系統(tǒng)

  • 真空設(shè)備中的氣體注入控制

  • 等離子體蝕刻與沉積設(shè)備

  • 光伏太陽能電池制造

  • OLED、LED、液晶顯示面板生產(chǎn)線

型號說明

SEC-N112MGM 系列根據(jù)不同的通信方式和功能,分為多個(gè)子型號:

  • SEC-N112MGM:支持模擬信號接口,適用于需要遠(yuǎn)程控制和監(jiān)測的系統(tǒng)。

  • SEC-N112MGR:支持 RS-485 數(shù)字通信接口,適用于數(shù)字化控制系統(tǒng)。

不同型號在通信接口、電源要求、功能特性等方面有所差異,用戶應(yīng)根據(jù)具體應(yīng)用需求選擇合適的型號。




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