SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計 PG-2BM

SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計 PG-2BM

真空計（Vacuum Gauge），又稱真空壓力計或真空規(guī)，是一種用于測量真空系統(tǒng)內(nèi)氣體壓力的儀器。其工作原理基于不同壓力范圍內(nèi)氣體分子的物理特性變化，通過傳感器將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號，最終以數(shù)字或模擬方式顯示真空度。真空計廣泛應用于科研、工業(yè)制造、半導體、航空航天等領(lǐng)域，是真空技術(shù)的關(guān)鍵測量設備。

它是一種使用的皮拉尼球體覆蓋低真空范圍的皮拉尼真空計，測量范圍為 0.14Pa~2.6kPa。 由于采用固態(tài)電路，即使在電源波動 （90V~110V） 的情況下也能表現(xiàn)出極其穩(wěn)定的運行，并提供可靠的測量值。

真空計的應用領(lǐng)域

真空計在多個行業(yè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)中發(fā)揮著重要作用：

1. 半導體與電子制造

用于晶圓加工、薄膜沉積、離子注入等工藝，確保高真空環(huán)境（10?? ~ 10?? Pa）的穩(wěn)定性。

在真空封裝（如MEMS傳感器）中監(jiān)測殘余氣體壓力。

2. 工業(yè)制造與材料處理

真空爐：在金屬熱處理、燒結(jié)過程中控制真空度，防止氧化。

真空鍍膜：監(jiān)測PVD（物理氣相沉積）、CVD（化學氣相沉積）設備的真空環(huán)境。

3. 科研與實驗室

高能物理實驗（如粒子加速器）需要超高真空（<10?? Pa）環(huán)境。

空間模擬艙：模擬太空環(huán)境，測試航天器部件的真空適應性。

4. 醫(yī)療與生物技術(shù)

冷凍電鏡（Cryo-EM）需要高真空環(huán)境以保持樣本穩(wěn)定性。

真空滅菌設備中監(jiān)測壓力，確保滅菌效果。