GR60 ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵
參考價(jià) | ¥ 54300 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 GR60
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/5/6 17:21:28
- 訪問次數(shù) 14
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泵軸位置 | 其他 | 抽氣量 | 看參數(shù) |
---|---|---|---|
抽氣速率 | 看參數(shù)l/s | 電壓 | 看參數(shù)V |
功率 | 看參數(shù)kW | 極限壓力 | 看參數(shù)pa |
流量 | 看參數(shù)m3/h | 排出口徑 | 看參數(shù)mm |
輸送介質(zhì) | 其他 | 外形尺寸 | 看參數(shù) |
揚(yáng)程 | 看參數(shù)m | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 | 重量 | 看參數(shù)kg |
最大工作壓強(qiáng) | 看參數(shù) |
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 GR60
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 GR60
干泵"Model:GR"是以獲得良好業(yè)績和信賴的"Model:LR/HR"為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的,面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡單結(jié)構(gòu)的泵。
特點(diǎn)
可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域,可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。
適用load lock室(裝載/卸載室),可實(shí)現(xiàn)高吞吐量。
感應(yīng)電機(jī)可通用
可以安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)(可選)
采用多電壓兼容電機(jī)
用途
空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣
真空干燥,真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)
真空氣體置換,如真空熱隔絕和氣體填充
規(guī)格
型號 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
最大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 183(3100) | |||
60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
極限壓力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
最大排氣壓力(吸入圧力) | 大氣壓 | |||||||
最大排氣口壓力(排出圧力) | Pa | 1.0 ~ 大氣壓 | ||||||
吸氣口 | VG50 | VG80 | ||||||
排氣口 | NW40 | |||||||
DRP表面處理 | 〇 | |||||||
電機(jī) | 輸出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
電壓 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
質(zhì)量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
冷卻方式 | 冷卻水 一次供給壓力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
冷卻水 出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||
冷卻水溫度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
氮?dú)?/td> | 一次側(cè) 供給圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
二次側(cè) 調(diào)整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (運(yùn)作時(shí)) | ||||||
軸 | SLM | 5.0 *4 |
*1 極限壓力是氮?dú)猓ㄝS封氣體)為5.0 SLM時(shí)的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計(jì)值。
*4 氮?dú)猓ㄝS封氣體)的流量固定為5.0SLM。
配件
型號 | 材質(zhì) | 表面處理 | 重量(kg) | 法蘭接口 | GR60A | GR90A | GR180A | |
消音器 | RS-01+ 套件A | SUS304 | GBB處理 | 4.1 | KF40 | 〇 | 〇 | - |
RS-01+ 套件C | SUS304 | GBB處理 | 8.3 | KF40 | - | - | 〇 |
排氣速度曲線

尺寸圖
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