手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N北崎供應(yīng)
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
產(chǎn)品介紹
作為中等負(fù)荷工藝專(zhuān)用的干式真空泵，搭載荏原有的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動(dòng)化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。
通過(guò)大范圍的溫度控制，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫(kù)存，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間，并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來(lái)的工藝擴(kuò)展。此外，在所有工藝中實(shí)施最佳的溫度控制，從而實(shí)現(xiàn)工藝耐受性的提高，并且通過(guò)延長(zhǎng)部件的更換周期，幫助減少TCoO。
應(yīng)對(duì)的應(yīng)用例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子植入、外延生長(zhǎng)等。
EV-X型
小型節(jié)能，僅需一臺(tái)設(shè)備即可覆蓋廣泛的工藝流程
支持中等負(fù)荷工藝
支持高溫化控制
節(jié)能
采用標(biāo)配耐腐蝕性材料
增強(qiáng)耐腐蝕性的選配件
不同頻率（50Hz/60Hz）下保持穩(wěn)定性能
無(wú)油
可支持CE標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL
省空間化
產(chǎn)品規(guī)格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大處理風(fēng)量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到達(dá)壓力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 電源規(guī)格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到達(dá)底壓時(shí)消耗電力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類(lèi)作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購(gòu)中心