一、產品定位與核心功能
有機洗濾芯清洗機專為半導體、醫(yī)藥、光學等行業(yè)的高精度濾芯（如PTFE、PEEK、金屬燒結濾芯）設計，用于清除吸附的有機污染物（光刻膠、油污、蠟質）、顆粒及結垢。其核心功能包括：

多模式清洗：化學噴淋+兆聲波（Megasonic）空化剝離，深度分解有機物；

無損傷干燥：熱風循環(huán)或真空烘干，避免高溫變形；

在線監(jiān)測：顆粒計數器實時檢測清洗效度，確保濾芯通量恢復至初始標準。

二、技術原理與工藝優(yōu)勢

有機污染物去除機制

化學作用：選用環(huán)保溶劑（如HFE、DLF）或定制配方，溶解濾芯微孔內的有機殘留；

物理強化：兆聲波（>80kHz）產生微射流，剝離深孔污染物，不損傷濾芯結構。

模塊化設計

支持多規(guī)格濾芯（直徑5mm~500mm，長度≤1m）；

可擴展紫外線消毒模塊，滅殺微生物污染。

三、關鍵組件與安全性

密封腔體：不銹鋼材質+耐腐蝕涂層，兼容酸性/堿性清洗液；

安全防護：防爆電機（ATEX認證）、溶劑回收系統(tǒng)、VOC過濾裝置；

智能控制：PLC編程實現多段工藝（預洗→主洗→漂洗→干燥），支持遠程監(jiān)控。

四、應用場景與效益

典型用途：

半導體濕法設備過濾芯（如蝕刻液、清洗液回路）；

光刻機循環(huán)水系統(tǒng)濾芯維護。

客戶價值：

延長濾芯壽命3~5倍，降低耗材成本；

避免手動清洗導致的二次污染或損傷；

滿足ISO 14644潔凈度要求，提升工藝穩(wěn)定性。

五、選型與服務

配置選項：可選自動上下料機械臂、溶劑濃度監(jiān)測、氮氣保護功能；

合規(guī)性：符合SEMI F47、ISO 14644-1標準，支持CE/RoHS認證；

售后支持：提供工藝驗證、溶劑配比優(yōu)化及定期維護培訓。

有機洗濾芯清洗機通過化學-物理聯合清洗與智能化控制，實現濾芯高效再生，解決精密過濾系統(tǒng)的堵塞與污染問題，是保障高純度流體工藝連續(xù)性的關鍵設備，廣泛應用于制造領域的清潔鏈環(huán)節(jié)。