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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>退火爐>AS-one 快速退火爐

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AS-one 快速退火爐

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料、半導(dǎo)體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設(shè)備的供應(yīng)商,所銷售的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè)。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設(shè)立分公司和辦事處,快速響應(yīng)客戶需求。同時上海麥科威在快速擴展海外市場,并設(shè)立新加坡分公司,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主要銷售產(chǎn)品包括:  - 霍爾效應(yīng)測試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結(jié)爐;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機,熱蒸發(fā)鍍膜機;  - 探針臺,低溫探針臺,微探針臺;  - 金剛石劃片機; - 球焊機,鍥焊機;  - 磁控濺射鍍膜機;  - 原子層沉積系統(tǒng),等離子增強原子層沉積設(shè)備;  - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統(tǒng); - 光學(xué)膜厚儀; -貼片機-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓??;-等離子清洗機、去膠機;-反應(yīng)離子刻蝕RIE; - 光刻機、無掩膜光刻機; - 勻膠機; - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽能模擬器;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機-離子注入-劃片機、裂片機光刻機(針尖/電子束光刻機EBL,紫外光刻機,激光直寫光刻機),鍍膜機(磁控濺射機,電子束蒸發(fā)機,化學(xué)沉積機,微波等離子沉積機,原子層沉積機  等等…

企業(yè)客戶:華為技術(shù)有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術(shù), 安徽格恩半導(dǎo)體, 蘇州稀晶半導(dǎo)體科技, 矽品半導(dǎo)體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(chuàng)(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(shù)(常州),偉創(chuàng)力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,廣東萬和集團,西安西測股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車, 北京華脈泰科, 廣醫(yī)東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導(dǎo)體材料, 珠海珍迎機電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節(jié)能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風(fēng)華技股份, 浙江中能合控股集團,固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導(dǎo)體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學(xué), 汕頭大學(xué), 南方醫(yī)科大學(xué), 清華大學(xué), 北京大學(xué), 復(fù)旦大學(xué), 西北工業(yè)大學(xué), 南京醫(yī)科大學(xué), 香港中文大學(xué), 香港城市大學(xué), 蘇州大學(xué), 深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院, 南京大學(xué)合肥國家試驗室, 上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院, 華南理工大學(xué),華東師范大學(xué),江南大學(xué),重慶26所, 深圳大學(xué), 南方科技大學(xué), 深圳技術(shù)大學(xué), 理化技術(shù)研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學(xué), 上海硅酸鹽研究所, 中國航天五院,中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等。









半導(dǎo)體設(shè)備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機,光刻機

  • 詳細(xì)介紹


    • 產(chǎn)品特點

    • 真空快速退火爐AS-OneAS-One是一種通用的RTP系統(tǒng),可用于開發(fā)快速熱退火和快速熱CVD工藝??梢源钆浞肿颖脤崿F(xiàn)高真空下熱處理工藝。ZG溫度1500 ℃,Z快升溫速率200℃/Second。

    • 詳細(xì)介紹

    • 真空快速退火爐AS-One



      AS-One是一種通用的RTP系統(tǒng),可用于開發(fā)快速熱退火和快速熱CVD工藝。

      可以搭配分子泵實現(xiàn)高真空下熱處理工藝。

      ZG溫度1500 ℃,升溫速率200℃/Second。

      全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過沖,控溫精度準(zhǔn)確。


      應(yīng)用:

      • RTA(快速熱退火)

      • RTO(快速熱氧化)

      • 歐姆接觸退火

      • 植入退火

      • 石墨烯和hBN的快速熱化學(xué)氣相沉積RTCVD

      • 硒化,硫化

      • 結(jié)晶和致密化


      產(chǎn)品特點:

      1、 紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷(低噪音水平,無需壓縮空氣);

      2、加熱由功率控制而非電壓控制,避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題,保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性,即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到最初的熱處理效果;

      3、石英腔體,腔體冷卻采用水冷,冷壁設(shè)計,雙層不銹鋼;

      冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點在于:1、無記憶,2、工藝重復(fù)性高,3、冷卻速度快;

      4、反應(yīng)腔室的設(shè)計,氣體的進(jìn)入口設(shè)計在wafer的表面,避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性;

      5、快速數(shù)字PID控溫;

      6、熱電偶配合高溫計控溫,測試樣品的溫度,控溫JZ;

      7、大氣和真空工藝均適合,凈化氣體配針閥;

      8、最多5路工藝氣體,配數(shù)字質(zhì)量流量控制器;

      9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度;

      10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計,用于小樣品測試;

      11、可選配分子泵,用于高真空測試;


      產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)配置及規(guī)格參數(shù):

      1、樣品ZD尺寸:AS-One100:4-inch;AS-One150 :6-inch;

      2、溫度范圍:AS-One100室溫~1250 ℃;(室溫~1500 ℃可選)

      AS-One150室溫~1200 ℃;(室溫~1300 ℃可選)

      3、升溫速率:AS-One100 :0.1 ℃~250 ℃/s ;

      AS-One150 :0.1 ℃~200 ℃/s ;

      4、溫度控制:快速數(shù)字PID控制;

      5、熱電偶:2個K型熱電偶;

      6、低溫高溫計溫度范圍:150℃~1100 ℃;

      7、高溫高溫計溫度范圍:400℃~1500 ℃;

      8、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計;

      9、配置真空泵及真空規(guī);


相關(guān)分類

氧化擴散設(shè)備


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