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AGF系列 電阻式碳化硅長(zhǎng)晶爐

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

AGF系列 電阻式碳化硅長(zhǎng)晶爐,適用于 6、8 英寸,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長(zhǎng)。

2. 設(shè)備用途/原理

AGF系列 電阻式碳化硅長(zhǎng)晶爐,適用于 6、8 英寸,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長(zhǎng),4 組加熱器獨(dú)立控制,靈活的溫場(chǎng)調(diào)節(jié)機(jī)能力坩堝系統(tǒng)具備升降、旋轉(zhuǎn)功能,溫場(chǎng)更均勻,下裝載,上維護(hù),操作便捷。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶體尺寸 6、8 英寸,加熱方式 電阻加熱,適用材料 碳化硅適用工藝 物理氣相輸運(yùn)法(PVT 法),適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。碳化硅單晶是最重要的第三代半導(dǎo)體材料之一,具有禁帶寬度大、高熱導(dǎo)率、高飽和電子遷移率、高擊穿電場(chǎng)等特性,在智能電網(wǎng)、電力牽引、電動(dòng)汽車、微波射頻等領(lǐng)域具有優(yōu)勢(shì)。




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