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徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司

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碳化硅晶圓傳輸

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  迪合光電科技(上海)有限公司是LEICA光學(xué)儀器在江,浙,滬工業(yè)區(qū)域的徠卡顯微鏡總代理,以經(jīng)營(yíng)、開(kāi)發(fā)、應(yīng)用、服務(wù)于一體的上海自貿(mào)區(qū)企業(yè),致力于為工業(yè),電子制造業(yè)和科研領(lǐng)域用戶(hù)提供顯微光學(xué)檢測(cè)和自動(dòng)影像測(cè)量,計(jì)量, 分析及過(guò)程控制等解決方案。

  本公司產(chǎn)品有:德國(guó)LEICA系列顯微鏡、成像和圖像分析軟件,德國(guó)ZEISS復(fù)合式三坐標(biāo),自動(dòng)影像量測(cè)儀,日本NIKON 投影機(jī)、測(cè)量顯微鏡、高度計(jì),美國(guó)OGP自動(dòng)影像量測(cè)系統(tǒng),光學(xué)成像儀器的維護(hù)及改造, 云端MES軟件等。

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本公司秉承“誠(chéng)信、服務(wù)、專(zhuān)業(yè)、創(chuàng)新”的經(jīng)營(yíng)理念,擁有高素質(zhì)的專(zhuān)業(yè)人員為您提供優(yōu)質(zhì)的售前、售中、售后服務(wù),并可應(yīng)客戶(hù)要求開(kāi)發(fā)或共同開(kāi)發(fā)其他應(yīng)用光學(xué)產(chǎn)品,為廣大的國(guó)內(nèi)生產(chǎn)和科研用戶(hù)提供與同步的專(zhuān)業(yè)服務(wù),更好地創(chuàng)造產(chǎn)品價(jià)值和顧客價(jià)值。


顯微鏡 /徠卡顯微鏡/尼康顯微鏡/工具顯微鏡/金相顯微鏡/視頻顯微鏡/體視顯微鏡

產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類(lèi) 正置
價(jià)格區(qū)間 面議 配備圖像分析系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生
  碳化硅晶圓傳輸是一項(xiàng)非常重要的半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的步驟之一。這個(gè)過(guò)程需要使用到特殊的設(shè)備和技術(shù),具體包括晶圓搬運(yùn)、清洗、封裝等操作,以確保產(chǎn)出的碳化硅晶圓質(zhì)量?jī)?yōu)良、性能穩(wěn)定。
 
  碳化硅晶圓傳輸?shù)牡谝徊绞蔷A搬運(yùn),這個(gè)過(guò)程需要使用到一些專(zhuān)業(yè)的設(shè)備,例如載晶車(chē)、載晶盒等。在進(jìn)行晶圓搬運(yùn)過(guò)程中,需要嚴(yán)格控制溫度、緊密密封,避免晶圓在搬運(yùn)過(guò)程中受到損壞或者污染。晶圓搬運(yùn)的過(guò)程非常重要,因?yàn)榫A的質(zhì)量和性能會(huì)直接影響到最終產(chǎn)品的成品率和可靠性。
 
  晶圓搬運(yùn)完成后,需要進(jìn)行清洗處理。這個(gè)過(guò)程需要使用到更加嚴(yán)格的設(shè)備和技術(shù)。一般情況下,采用的是機(jī)械式和化學(xué)式相結(jié)合的清洗方式,可以有效去除晶圓表面的污染和雜質(zhì)。此外,還需要對(duì)晶圓進(jìn)行干燥處理,以保證晶圓表面的干凈和充分的干燥。
 
  清洗和干燥處理完成后,晶圓需要進(jìn)行封裝。封裝是在晶圓表面涂覆一些保護(hù)材料,以保證晶圓在傳輸和加工過(guò)程中不會(huì)受到損傷或者污染。同時(shí),封裝可以提高晶圓的防水、防氧化等性能,保證產(chǎn)品的穩(wěn)定可靠性。
 
  在進(jìn)行碳化硅晶圓傳輸?shù)倪^(guò)程中,需要注意以下幾點(diǎn):
 
  1. 保證環(huán)境的潔凈和溫度的恒定,減少晶圓表面污染和溫度變化對(duì)晶圓質(zhì)量的影響。
 
  2. 選擇好的載晶車(chē)和載晶盒等設(shè)備,減少搬運(yùn)過(guò)程中晶圓表面的摩擦和機(jī)械損傷。
 
  3. 選擇高效的清洗和封裝設(shè)備,保證處理效果和效率。
 
  4. 嚴(yán)格遵守操作規(guī)范和操作流程,確保每一步操作都符合標(biāo)準(zhǔn)和要求。
 
  總之,碳化硅晶圓傳輸是半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中非常重要的一環(huán),需要采用專(zhuān)業(yè)的設(shè)備和技術(shù),嚴(yán)格遵守操作規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。只有保證傳輸過(guò)程中晶圓的質(zhì)量和性能,才能生產(chǎn)出質(zhì)量?jī)?yōu)良、性能穩(wěn)定的半導(dǎo)體產(chǎn)品。
 
  徠卡碳化硅晶圓傳輸用于碳化硅是寬禁帶半導(dǎo)體器件制造的核心材料,SiC 器件具有高頻、大功率、耐高溫、耐輻射、抗干擾、體積小、重量輕等諸多優(yōu)勢(shì),是目前硅和砷化鎵等半導(dǎo)體材料所的,應(yīng)用前景十分廣闊,是核心器件發(fā)展需要的關(guān)鍵材料,由于其加工難度大,一直未能得到大規(guī)模推廣應(yīng)用。
 
  碳化硅材料的加工難度體現(xiàn)在:
 
  (1)硬度大,莫氏硬度分布在 9.2~9.6;
 
  (2)化學(xué)穩(wěn)定性高,幾乎不與任何強(qiáng)酸或強(qiáng)堿發(fā)生反應(yīng);
 
  (3)加工設(shè)備尚不成熟。
 
  因此,圍繞碳化硅晶圓劃片工藝和設(shè)備展開(kāi)研究,對(duì)推動(dòng)我國(guó)碳化硅新型電子元器件的發(fā)展,促進(jìn)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展有著積極的意義。
 
  1 碳化硅材料特性
 
  碳化硅是ⅠⅤ-ⅠⅤ族二元化合物半導(dǎo)體,具有很強(qiáng)的離子共價(jià)鍵,結(jié)合能量穩(wěn)定,具有*的力學(xué)、化學(xué)性能。材料帶隙即禁帶能量決定了器件很多性能,包括光譜響應(yīng)、抗輻射、工作溫度、擊穿電壓等,碳化硅禁帶寬度大。如的 4H-SiC禁帶能量是 3.23 eV,因此,具有良好的紫外光譜響應(yīng)特性,被用于制作紫外光電二極管。SiC 臨界擊穿電場(chǎng)比常用半導(dǎo)體硅和砷化鎵大很多,其制作的器件具有很好的耐高壓特性。另外,擊穿電場(chǎng)和熱導(dǎo)率決定器件的最大功率傳輸能力,SiC 熱導(dǎo)率高達(dá) 5 W/(cm·K),比許多金屬還要高,因此非常適合做高溫、大功率器件和電路。碳化硅熱穩(wěn)定性很好,可以工作在 300~600 ℃。碳化硅硬度高,耐磨性好,常用來(lái)研磨或切割其它材料,這就意味著碳化硅襯底的劃切非常棘手。
 
  目前,用于制作電子器件的碳化硅晶圓主要有 2 種,N 型導(dǎo)電晶圓厚度 150~350 μm,電阻率0.010~0.028 Ω·cm 2 ,主要應(yīng)用于發(fā)光二極管、電力電子行業(yè)的功率器件。高純半絕緣晶圓厚度50~100 μm,電阻率 1×10 8 Ω·cm 2 ,主要用于微波射頻、氮化鎵晶體管等領(lǐng)域。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的 SiC 晶圓劃切,研究幾種加工方法的特點(diǎn)及應(yīng)用。
 
  徠卡碳化硅晶圓傳輸劃片方法:
 
  1. 砂輪劃片
 
  砂輪劃片機(jī)是通過(guò)空氣靜壓電主軸驅(qū)動(dòng)刀片高速旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的強(qiáng)力磨削。所用的刀片刃口鍍有金剛砂顆粒,金剛砂的莫氏硬度為 10 級(jí),僅僅比硬度 9.5 級(jí)的 SiC 略高一點(diǎn),反復(fù)地低速磨削不僅費(fèi)時(shí),而且費(fèi)力,同時(shí)也會(huì)造成刀具頻繁磨損。如:100 mm(4 英寸)SiC 晶圓劃切每片需要6~8 h,且易造成崩邊缺陷。因此,這種傳統(tǒng)的低效加工方式已經(jīng)逐漸被激光劃片取代。
 
  2. 激光全劃
 
  激光劃片是利用高能激光束照射工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化,從而達(dá)到去除材料,實(shí)現(xiàn)劃片的過(guò)程。激光劃片是非接觸式加工,無(wú)機(jī)械應(yīng)力損傷,加工方式靈活,不存在刀具損耗和水污染,設(shè)備使用維護(hù)成本低。為避免激光劃透晶圓時(shí)損傷支撐膜,采用耐高溫?zé)g的UV膜。


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