美國四探針電阻率/方塊電阻測試儀

美國4D公司的四探針/方塊電阻/電阻率測試設(shè)備：280SI （普及型號）

· 測量尺寸：晶圓尺寸：2-8寸（333系列可測量大至12寸晶圓，1100系列可測量大至2160mmX2400mm平板系列）

方形片：大至156mm X 156mm；

· 測量范圍： 0.001歐姆/平方 至 800000歐姆/平方（標(biāo)準(zhǔn)型）；

可往下擴(kuò)展至：0.0001歐姆/平方，往上擴(kuò)展至8e9或8e11歐姆/平方。相對應(yīng)的電阻率，薄膜厚度根據(jù)不同材料不同應(yīng)用而不同，但都是以方塊電阻作為基礎(chǔ)設(shè)備自動計(jì)算得出，注意這是選項(xiàng)價(jià)格要高不少，建議客戶按實(shí)際需求選擇購買。

· 測量方式： 電腦程序自動測量，或不連電腦單測量主機(jī)也可實(shí)現(xiàn)測量和數(shù)據(jù)顯示，此時(shí)非常適合測試不規(guī)整樣片單點(diǎn)測量，適合實(shí)際研究需要。

· 測量的數(shù)據(jù)： 方塊電阻/電阻率/薄膜厚度，根據(jù)具體應(yīng)用可以設(shè)置不同測量程序。

· 測量的點(diǎn)數(shù)： 程序編排任意測量點(diǎn)位置及測量點(diǎn)數(shù)量，對應(yīng)不同客戶不同測量要求任意編程測量點(diǎn)位置與數(shù)量。

· 測量的準(zhǔn)確度：<0.1% （標(biāo)準(zhǔn)模阻）；

· 測量重復(fù)性：<0.2% （特定片子）；

· 測量速度：>45點(diǎn)/分鐘；

· 測量數(shù)據(jù)處理：根據(jù)需要顯示2D,3D數(shù)值圖，或按要求統(tǒng)計(jì)并輸出Excel格式文件；

· 邊緣修正：具有邊緣修正功能，即片子邊緣3mm以內(nèi)區(qū)域都能測量；

· 探針材料：鎢鋼與硅片的接觸電阻小，且耐磨。另外每跟針的軸套采用非常耐磨藍(lán)寶石材料，以確保長時(shí)間使用后間距的一致性；

· 探針壓力可調(diào)范圍：90-200克之間可調(diào)；

· 可供選擇的探頭類型：根據(jù)測試不同工藝要求有A, B,K, M, N等相關(guān)型號探頭選擇，另外還可提供專門為客戶定制的應(yīng)用特殊要求的探針，比如測試薄至30A的薄膜時(shí)需要使用MR型探頭，這是四探針設(shè)備供應(yīng)商少有能做到的。

· 設(shè)備應(yīng)用：

    IC FAB/FP dispaly/LED：擴(kuò)散，離子注入等摻雜工藝監(jiān)控調(diào)試，薄膜電阻率或厚度測量等工序，如Intel，IBM，Motorola，TSMC，CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Materials Research,RF Monolithics,Linear Technology,Perkin-Elmer Optoelectronics,Candescent Technology,Hewlett-Packard,SHE America/Japan/Europe,Flip Chip,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,RF Monolithic,Osram...

    材料類研究：杜邦（中國），電力科學(xué)院，中科院，山東科學(xué)院，清華大學(xué)，北京大學(xué)，復(fù)旦大學(xué)，華師大，電子科大，國家標(biāo)準(zhǔn)化所，質(zhì)檢所，光伏科學(xué)與技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,Applied Materials, Materials Research...
    新能源：尚德，晶澳，英利，阿特斯，天合，LDK，海潤，騰暉，鑫輝，東磁，向日葵，奧特斯維，尖山，晶科，力諾，韓華，神舟，光為，艾力克，吉陽，東營，中盛，F(xiàn)irst solar,Solar world...

美國四探針電阻率/方塊電阻測試儀

· 客戶群廣：國內(nèi)已經(jīng)賣出近300臺之多，*累計(jì)各種型號四探針設(shè)備近千臺。

· 使用成本

4D公司所提供的探針質(zhì)保次數(shù)是25萬次，而實(shí)際從客戶反饋的信息是壽命達(dá)到100萬次以上，甚至150萬次以上。同時(shí)4D還為客戶提供探頭的探針更換服務(wù)，大大降低客戶的使用成本。

· *高

國內(nèi)行業(yè)內(nèi)有幾百臺的占有率，公司品牌4D已經(jīng)成為四探針的代名詞；
根據(jù)應(yīng)用不同工藝要求對應(yīng)的探針類型詳細(xì)說明：

測量數(shù)據(jù)電腦圖（2D/3D）

各類型四探針設(shè)備說明：

根據(jù)客戶不同使用要求有更多選擇
* 使用液體金屬汞探針替代傳統(tǒng)硬探針的四探針設(shè)備，如：M4PP 3093;
* 針對III IV族化合物材料，應(yīng)用“dynamic AC waveform”克服測量的接觸電阻問題，該型號為：680I；
* 根據(jù)不同應(yīng)用要求，可增加的功能有：溫度控制/補(bǔ)償，邊緣修正，樣品臺定制，自動化要求定制，探頭自動切換，通訊接口擴(kuò)展，測量范圍擴(kuò)展等。