三維表面測量儀采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當明顯。

     NanoFocus µsurf cylinder汽缸表面無損檢測系統(tǒng)是氣缸套的表面高分辨率非破壞性測量的共焦三維表面測量系統(tǒng)。在眾多汽車公司和供應商的開發(fā)與質(zhì)量控制部門被廣泛使用。配合潛望鏡式光學設計，測量頭浸沒在缸孔，可在非常短的時間到達任何測量位置自動化的測量過程都將存儲在數(shù)據(jù)庫中便于重復測量和連續(xù)檢驗。  

     測量過程中的自動化選項由一個可以自動直線運行的機械系統(tǒng)所完成，測量頭可通過移動自動完成位于一個發(fā)動機的多個氣缸的檢測，整個過程中不需要用戶的再引導或人工干預，此系統(tǒng)配備有懸臂系統(tǒng)和托盤保證了人體工學的工作環(huán)境。

應用

三維表面測量儀用來測量汽車引擎缸體內(nèi)部(發(fā)動機氣缸內(nèi)壁)表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析(磨損分析、缺陷分析)，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。有利于提高成形性，改善外觀以及涂漆性能，降低磨損，提高效率。

產(chǎn)品特性：

（1）耐用可靠

（2）無損測量

（3）光學分辨率高

（4）速度快，數(shù)秒內(nèi)完成測量

（5）真實的3D數(shù)據(jù)

產(chǎn)品功能：

（1）紋理分析（角度分析）

（2）粗糙度計算符合DIN EN ISO標準

（3）計算三維表面粗糙度參數(shù)

（4）磨損分析，缺陷檢測和體積參數(shù)

技術(shù)參數(shù)：

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

測量時間：5~10秒

測量原理：非接觸、共聚焦

計算機：高性能計算機控制系統(tǒng)，功能全面的軟件，有拼接功能，

工作電源：100-240V, 50-60Hz, input<45W

外型尺寸：高490mm，特殊轉(zhuǎn)接環(huán)直徑280mm

集成箱尺寸（包含主機，系統(tǒng)控制器，電子模塊等）：540*710*795mm

重量：11KG

潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

物鏡倍數(shù) 10X 20X 50X

單次測量面積（um） 1100*1100 550*550 220*220

NA值 0.3 0.45/0.6 0.8

工作距離（mm） 10.1 3.1/0.9 1

Z軸精度（nm） 20 <10 <2

XY軸精度（um） 1.9 0.95 0.38