PUM 非接觸式深度測量工具顯微鏡

一、產(chǎn)品介紹

Photon系列PUM工具顯微鏡為一專業(yè)X、Y、Z軸座標(biāo)測量顯微鏡，被廣泛地運(yùn)用在高精度測量的工業(yè)領(lǐng)域，如半導(dǎo)體行業(yè)、MEMS、磁頭元件、電子元件、精密部件等。其X、Y、Z工作臺行程由100＊75mm到大行程400＊200mm，X、Y軸的精度為3.5+L/50um，Z軸精度為5um，顯示精度為1um。

①     采用95mm低景深長工作距離鏡頭，可以充分保證Z軸精度和舒適的測量空間。物鏡倍率有5X、10X、20X、50X具體參數(shù)如下：

②     為保證測量精度PUM*工具顯微鏡采用進(jìn)口載物臺，搭載美國高精度ACU-Rice光學(xué)尺，保證了優(yōu)秀的解析度。平臺規(guī)格有100x75、200x100、300x100、400x200可選。

③     PUM的QC200數(shù)據(jù)計(jì)數(shù)器的zui小讀數(shù)可以從0.001mm到0.0001mm按需要選擇，以滿足不同精度的測量要求。QC200還配有打印機(jī)接口可以與打印機(jī)相連實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)打印輸出。

④     PUM工具顯微鏡采用高檔的精微動調(diào)焦系統(tǒng)，策調(diào)精度為1um/格。從而充分保證了Z軸測量的精度。

⑤     根據(jù)需要PUM*工具顯微鏡還可以搭配AIM測量軟件擴(kuò)展測量功能，可以對點(diǎn)、線、圓、孤等基本參數(shù)進(jìn)行便捷測量。

二、適用領(lǐng)域

PUM*工具顯微鏡在半導(dǎo)體封裝測試行業(yè)，我們一般需要測試的參數(shù)有引線框架的高度、深度、圓半徑、毛刺、邦定線的線高、線寬、Wafer上臺階高度等技術(shù)指標(biāo)。PUM*工具顯微鏡的zui大亮點(diǎn)是Z軸測量精度。它的精度是5um重復(fù)精度可達(dá)3um。特別適用于引線框架技術(shù)參數(shù)的量測。

PUM*工具顯微鏡

作的舒適性

    數(shù)字成像和影像處理測量技術(shù)

    非接觸Z軸高度測量

    與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的協(xié)同工作

    低倍率到高倍率輕松搞定

    多種照明的選擇總有一款能夠辨清zui細(xì)微的差別