一、工業(yè)制造：真空工藝的 “眼睛”

1. 半導(dǎo)體與電子制造

• 場(chǎng)景：芯片光刻、薄膜沉積（如 PECVD、濺射鍍膜）、離子注入、晶圓封裝。

• 作用：

• 監(jiān)控真空腔體內(nèi)壓強(qiáng)（通常需達(dá)到 10?? - 10?1? Pa 高真空），確保薄膜均勻性和器件良率；

• 例：OLED 屏幕蒸鍍工藝中，真空度不足會(huì)導(dǎo)致有機(jī)材料氧化，影響屏幕壽命。

• 常用真空計(jì)：熱傳導(dǎo)式（皮拉尼計(jì)）、電容薄膜規(guī)（精度高，適合 10?? - 102 Pa）。

2. 真空鍍膜與涂層

• 場(chǎng)景：光學(xué)鏡頭增透膜、汽車輪轂 PVD 鍍層、太陽能電池板 TCO 膜制備。

• 作用：

• 控制鍍膜速率（壓強(qiáng)過低會(huì)導(dǎo)致粒子散射，膜層粗糙；過高則沉積不均勻）；

• 例：手機(jī)攝像頭玻璃鏡片鍍 AR 膜時(shí)，需維持 10?3 Pa 真空度，確保膜層厚度誤差＜1nm。

• 真空計(jì)選型：復(fù)合真空計(jì)（結(jié)合熱偶規(guī) + 電離規(guī)，覆蓋寬量程）。

3. 真空熱處理與焊接

• 場(chǎng)景：航空航天零部件退火、電子元件真空釬焊、鎢鉬材料燒結(jié)。

• 作用：

• 防止高溫下材料氧化（如鈦合金焊接需 10?? Pa 真空），同時(shí)避免氣孔缺陷；

• 例：渦輪葉片真空釬焊時(shí)，真空度不足會(huì)導(dǎo)致焊縫強(qiáng)度下降，影響發(fā)動(dòng)機(jī)性能。

• 監(jiān)測(cè)重點(diǎn)：高溫環(huán)境下的真空穩(wěn)定性，常用電阻規(guī)或冷陰極電離規(guī)。

二、科研與實(shí)驗(yàn)室：真空環(huán)境的精確控制

1. 物理與化學(xué)實(shí)驗(yàn)

• 場(chǎng)景：分子束外延（MBE）、真空蒸餾、質(zhì)譜分析、低溫物理研究。

• 典型應(yīng)用：

• MBE 生長(zhǎng)半導(dǎo)體量子阱時(shí)，需 10?1? Pa 超高真空，避免雜質(zhì)原子污染晶格；

• 真空蒸餾提純稀土金屬（如銪），通過控制壓強(qiáng)降低沸點(diǎn)（常壓下沸點(diǎn)＞1500℃，真空下可降至 800℃）。

• 高精度真空計(jì)：磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)（檢測(cè)極限 10?13 Pa）、冷陰極電離規(guī)（抗輻射，適合加速器實(shí)驗(yàn)）。

2. 材料表征與分析

• 場(chǎng)景：X 射線光電子能譜（XPS）、掃描電鏡（SEM）、俄歇電子能譜（AES）。

• 作用：

• 維持分析腔真空度（10?? - 10?? Pa），防止電子束與氣體分子碰撞導(dǎo)致信號(hào)衰減；

• 例：SEM 觀察納米材料時(shí)，真空度不足會(huì)產(chǎn)生電荷積累，導(dǎo)致圖像畸變。

• 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：采用全量程真空計(jì)（如普發(fā) Pirani-CA，量程 103 - 10?? Pa）。

三、能源與航天：環(huán)境的真空管理

1. 核聚變研究（如托卡馬克裝置）

• 場(chǎng)景：EAST（東方超環(huán)）、ITER（國(guó)際熱核聚變實(shí)驗(yàn)堆）。

• 作用：

• 創(chuàng)造 10?? Pa 以下真空，減少等離子體與殘留氣體碰撞導(dǎo)致的能量損失；

• 真空度不足會(huì)引發(fā)雜質(zhì)輻射，降低核聚變反應(yīng)效率。

• 特殊需求：抗強(qiáng)磁場(chǎng)干擾，常用無磁真空計(jì)（如電容薄膜規(guī)）。

2. 航天器件測(cè)試與太空模擬

• 場(chǎng)景：衛(wèi)星部件熱真空試驗(yàn)、航天器推進(jìn)劑貯箱檢漏、宇宙射線模擬。

• 典型應(yīng)用：

• 航天器太陽能電池板需在 10?? Pa 真空 + -150℃~+120℃環(huán)境下測(cè)試可靠性；

• 火箭發(fā)動(dòng)機(jī)真空點(diǎn)火試驗(yàn)，通過真空計(jì)監(jiān)測(cè)噴管背壓，優(yōu)化推力性能。

• 真空計(jì)類型：耐高溫、耐振動(dòng)的電離規(guī)（如 BA 規(guī)，測(cè)量范圍 10?1? - 10?3 Pa）。

四、醫(yī)療與食品：真空技術(shù)的民生應(yīng)用

1. 醫(yī)療設(shè)備與制藥

• 場(chǎng)景：真空冷凍干燥（凍干疫苗、生物制劑）、真空采血、醫(yī)用加速器（癌癥放療設(shè)備）。

• 關(guān)鍵作用：

• 凍干過程中，真空度控制在 10?2 - 10?3 Pa，確保藥物活性成分不被高溫破壞（如 mRNA 疫苗凍干）；

• 醫(yī)用加速器真空腔需 10?? Pa，保證電子束加速時(shí)無能量損耗。

• 衛(wèi)生級(jí)真空計(jì)：采用不銹鋼材質(zhì)、可高溫滅菌的電容薄膜規(guī)（如 MKS 627 系列）。

2. 食品包裝與加工

• 場(chǎng)景：真空保鮮包裝（肉類、干貨）、真空油炸（薯片、果蔬脆片）、真空濃縮（果汁加工）。

• 應(yīng)用實(shí)例：

• 真空包裝通過維持 103 - 10? Pa 壓強(qiáng)，抑制微生物繁殖，延長(zhǎng)保質(zhì)期（如三文魚真空包裝可保鮮 21 天）；

• 真空油炸在 102 Pa 下降低油沸點(diǎn)（常壓 230℃→真空 120℃），減少油脂氧化和反式脂肪酸生成。

• 經(jīng)濟(jì)型真空計(jì)：熱傳導(dǎo)式皮拉尼計(jì)（成本低，適合 10? - 102 Pa 量程）。

五、其他特殊領(lǐng)域

1. 真空檢漏與氣密性測(cè)試

• 場(chǎng)景：壓力容器（LNG 儲(chǔ)罐）、空調(diào)制冷系統(tǒng)、航空燃油管道。

• 方法：

• 氦質(zhì)譜檢漏儀（精度 10?12 Pa?m3/s），通過真空計(jì)監(jiān)測(cè)氦氣泄漏量；

• 例：汽車空調(diào)壓縮機(jī)需檢測(cè) 10?? Pa?m3/s 以下的泄漏率，確保制冷劑無損耗。

2. 真空電子器件

• 場(chǎng)景：電子管（如微波雷達(dá)磁控管）、光電倍增管、真空開關(guān)管。

• 作用：

• 維持 10?? Pa 以上真空，防止電子發(fā)射極氧化，保證器件壽命（如雷達(dá)磁控管真空度下降會(huì)導(dǎo)致功率衰減）。

真空計(jì)選型與場(chǎng)景適配總結(jié)