手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
真空管式退火爐是一種采用高純度石英管作為核心腔體的精密熱處理設(shè)備，設(shè)計通過機械泵與分子泵組成的多級真空系統(tǒng)，可將工作腔室真空度穩(wěn)定控制在10?3Pa至10?5Pa量級。這種全封閉式結(jié)構(gòu)不僅有效隔絕了大氣中的氧氮污染，更通過輻射加熱方式實現(xiàn)了對樣品的三維均勻加熱，溫度控制精度可達±1℃。在半導體晶圓、磁性材料等制造領(lǐng)域，該設(shè)備憑借其的溫場控制與超低污染特性，成為實現(xiàn)材料性能優(yōu)化的關(guān)鍵工藝裝備。
其創(chuàng)新性體現(xiàn)在模塊化加熱系統(tǒng)的設(shè)計上，采用分段獨立控溫的硅鉬棒加熱元件，配合PID智能調(diào)節(jié)算法，可在室溫至1200℃范圍內(nèi)實現(xiàn)升降溫曲線的程序化控制。特殊設(shè)計的雙層水冷法蘭結(jié)構(gòu)既確保了真空密封的可靠性，又實現(xiàn)了快速冷卻功能?，F(xiàn)代先進型號更集成了質(zhì)譜分析接口和光學觀察窗，支持原位檢測與工藝監(jiān)控。在光伏電池片的背電場處理、納米粉體的晶化退火等精密工藝中，這種設(shè)備展現(xiàn)出的技術(shù)優(yōu)勢，其工藝重復性誤差可控制在0.5%以內(nèi)。
相關(guān)產(chǎn)品
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心