FAB是指半導(dǎo)體制造的工廠,目檢燈是指用于半導(dǎo)體材料表面缺陷或者晶圓缺陷檢測(cè)的設(shè)備。在半導(dǎo)體制造的環(huán)境中(FAB),黃綠光表面檢查燈是專門用于玻璃、晶圓燈材料的表面缺陷檢查工具。
FAB場(chǎng)景下和其中核心技術(shù)上的細(xì)節(jié)上的應(yīng)用特別之處:
一、設(shè)計(jì)要求和核心技術(shù)
波長(zhǎng)選擇和光學(xué)原理
濾光設(shè)計(jì):經(jīng)過(guò)特別定制的濾光片,比如黃色濾光片。篩選過(guò)濾藍(lán)光和紫外線。避開對(duì)光敏材料干擾,比如光刻膠等。
黃綠光的特點(diǎn):波長(zhǎng)范圍在510-600納米之間。比如550納米的純綠光或者570-580納米的復(fù)合型綠光。是介于人體眼睛敏感度的峰值范圍里,那可以減少視覺疲憊,而且增加缺陷對(duì)比度。
光源性能參數(shù)
長(zhǎng)壽命和冷光源
LED光源沒有發(fā)熱的問題,不會(huì)產(chǎn)生晶圓熱變形情況。那么LED燈珠壽命可達(dá)3000小時(shí)以上,從而降低成本。
均勻性和高亮度
為確保1μm以下的微塵和劃痕的可見度,照度可以達(dá)到30-40萬(wàn)LUX。
潔凈室的兼容性
防靜電措施:燈體接地設(shè)計(jì),比如金屬外殼需要接地。采用防靜電材料或者導(dǎo)電涂層,比如碳填充塑料的方式避開靜電吸附灰塵,符合GB50611標(biāo)準(zhǔn)。
無(wú)塵的設(shè)計(jì):燈體采用光滑表面的材料,比如ABS防靜電塑料。沒有孔隙的結(jié)構(gòu),阻止積累灰塵。
二、FAB場(chǎng)景下的應(yīng)用特點(diǎn):
檢測(cè)缺陷的能力
高分辨率: 可以識(shí)別1微米以下的劃痕,顆粒。比如晶圓表面的錯(cuò)位滑移線,配合腐蝕工藝,比如硝酸-氫氟酸混合液以后,用目檢燈可以清楚定位到缺陷為止。
適用多場(chǎng)景性:
除了晶圓以外,還能檢測(cè)汽車玻璃、液晶玻璃等表面的凹凸缺陷、油墨殘留于。而且支持不同情況,比如清洗后、蝕刻的在線檢測(cè)。
和自動(dòng)化檢測(cè)的協(xié)同
燈光參數(shù)的優(yōu)化:有些AOI設(shè)備,采用RGB三色光源,但是黃綠光目檢燈的單色高對(duì)比度特點(diǎn)無(wú)法替代,特別是在檢測(cè)透明材料的時(shí)候可以避開色偏干擾。
輔助AOI設(shè)備:
人工復(fù)核工具:目檢燈??梢孕r?yàn)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè),AOI設(shè)備如果出現(xiàn)漏檢或者是錯(cuò)誤判斷的時(shí)候,比如,在極耳翻折檢測(cè)里,人工目檢可以補(bǔ)充智能算法的局限性。
操作規(guī)范和合規(guī)性
人員操作要求:燈檢工作人員需要定期進(jìn)行視力檢查,矯正視力大于等于5.0。而且在黑暗環(huán)境里適應(yīng)5分鐘以上的對(duì)比度識(shí)別能力和提升。
照度標(biāo)準(zhǔn):FAB中燈檢照度大于等于2000LUX,而黃綠光目檢燈實(shí)際照度一般遠(yuǎn)超這個(gè)要求,確保檢測(cè)的可靠性。
FAB缺陷黃綠光表面目檢燈品牌推薦:
路陽(yáng) LUYOR-3325GD 手持式黃綠光表面檢查燈:
采用大功率的LED燈珠, 36W。570-580納米黃綠光,桌面和便攜雙模式,適用于晶圓顆粒及劃痕檢測(cè)。
光斑均勻,產(chǎn)品輕便,內(nèi)置鋰電池??梢允殖种鴻z查產(chǎn)品表面的顆粒物、劃痕、手印等產(chǎn)品缺陷,也可以配合臺(tái)式支架作為臺(tái)式表面檢查燈進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間檢查。
堅(jiān)固耐用、維護(hù)成本低的便攜式黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325GD進(jìn)行光學(xué)晶圓檢測(cè),與 100 瓦高壓汞燈相比,具有以下優(yōu)勢(shì):
輕便:沒有繁重電源箱,手持操作,方便快捷。
省時(shí):即可即用,無(wú)需等待。
經(jīng)濟(jì):光源壽命長(zhǎng)達(dá)50000小時(shí),無(wú)須頻繁更換燈泡。
光斑均勻,檢查效率高,減少漏檢。
安全:長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行,不發(fā)燙,沒有燙傷危險(xiǎn)。
高效:led光源,發(fā)光效率高,節(jié)省能源。
光譜純正:不會(huì)產(chǎn)生紫外線。
FAB缺陷黃綠光表面目檢燈的顆粒檢測(cè):減少晶圓生產(chǎn)/半導(dǎo)體生產(chǎn)中的污染 除了晶圓檢測(cè)過(guò)程中的目視表面檢測(cè),即通過(guò)黃光燈或綠光燈進(jìn)行部分自動(dòng)化的晶圓檢測(cè)外,許多半導(dǎo)體制造商還有進(jìn)一步的要求: 使用測(cè)試燈檢查系統(tǒng)中的顆粒污染 使用黃光表面檢查燈或UV-LED紫外線燈進(jìn)行粒子檢測(cè) 晶圓生產(chǎn)過(guò)程中潔凈室中質(zhì)量控制的顆粒檢查 搜索并查找用于清潔半導(dǎo)體生產(chǎn)中機(jī)器的顆粒 在持續(xù)的質(zhì)量控制過(guò)程中清潔和保持生產(chǎn)設(shè)備的清潔 在大多數(shù)情況下,顆粒檢測(cè)只能通過(guò)人工檢查進(jìn)行,因此可以使用便攜式黃綠光表面檢查燈進(jìn)行檢測(cè)。
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