【SIMCO思美高】適用于半導(dǎo)體前后端處理的ESD靜電控制解決方案

工業(yè)知識堂

電動螺絲刀，別名電批、電動起子，是用于擰緊和旋松螺釘用的電動工具。該電動工具裝有調(diào)節(jié)和限制扭矩的機(jī)構(gòu)，主要用于裝配線，是大部分生產(chǎn)企業(yè)的工具之一。

在半導(dǎo)體制造過程中，靜電是一個(gè)需要嚴(yán)格控制的因素，因?yàn)榧词故俏⑿〉撵o電放電也可能損壞敏感的電子元件或?qū)е聣m埃粒子吸附在晶圓表面，從而影響產(chǎn)品的成品率和可靠性。

在整個(gè)半導(dǎo)體制造過程中都會產(chǎn)生靜電荷，主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過三種方式影響生產(chǎn)率和良率，靜電荷會靜電吸引（ESA）空氣中的顆粒，從而導(dǎo)致晶圓和光罩的潛在良率損失。

日本SIMCO思美高產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用主要集中在靜電控制和除靜電設(shè)備方面，以減少生產(chǎn)中的靜電和微粒對半導(dǎo)體制造過程的影響。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設(shè)備、離子棒和離子風(fēng)機(jī)等設(shè)備通過電暈放電產(chǎn)生正負(fù)離子，中和空氣和工作表面的靜電荷，從而減少靜電吸附和放電對半導(dǎo)體制造過程的影響。

產(chǎn)品介紹

1. 離子風(fēng)機(jī)

   
   

   
   

   ostat XC2靜電除塵風(fēng)機(jī)

   
   

Aerostat XC2靜電除塵風(fēng)機(jī)

提供全面的大面積電離保護(hù)，其設(shè)計(jì)和制造旨在實(shí)現(xiàn)可靠、長期的靜電控制。其輕量化設(shè)計(jì)使 Aerostat XC2可以安裝在工作臺面上方，這對于平板顯示器模塊組裝尤為有效。

特點(diǎn)：

輕量化設(shè)計(jì)

大面積、近乎對稱的電離區(qū)域覆蓋

±10V自平衡(“微脈沖”)技術(shù)

易于使用的內(nèi)置發(fā)射器清潔器

集成加熱器，用于暖空氣流動

Aerostat PC2臺式離子風(fēng)機(jī)

Aerostat PC2臺式離子風(fēng)機(jī)內(nèi)置發(fā)射點(diǎn)清潔器，結(jié)構(gòu)緊湊輕巧，可為目標(biāo)微環(huán)境提供的電荷中和效果，并可輕松安裝在工藝工具內(nèi)部。其風(fēng)速足夠，可在臺式工作臺面上控制高達(dá)4 英尺(約 1.2 米)范圍內(nèi)的靜電。

特點(diǎn)：

1英尺放電時(shí)間小于2.0 秒

輕巧、緊湊、安靜，使用時(shí)不會引人注目

本地警報(bào) LED、設(shè)施監(jiān)控系統(tǒng)(FMS)連接和可選聲音警報(bào)