KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE90X的特點

大抽氣速率：抽氣速率為 58L/s，最大抽速可達(dá) 1300L/min，能夠快速有效地抽取氣體，適用于需要大排量抽氣的應(yīng)用場景，如大尺寸晶圓和 FPD 基板的處理。

節(jié)能：屬于節(jié)能型產(chǎn)品，功率為 1.3kW，相比傳統(tǒng)類型可降低 54% 的功耗，通過參數(shù)優(yōu)化，在保證性能的同時實現(xiàn)了能源的有效利用。

極限壓力低：極限壓力可達(dá) 57Pa，能提供較高的真空度，滿足對真空環(huán)境要求較高的工藝需求。

耐用性強：SDE-X 系列注重在惡劣工藝條件下的耐用性，采用耐腐蝕的結(jié)構(gòu)材料并具備溫度控制功能，可承受各種復(fù)雜的工藝流程，適合連續(xù)運轉(zhuǎn)，減少故障發(fā)生頻率。

適應(yīng)性廣：可通過各種設(shè)置來適應(yīng)廣泛的工藝需求，對于含有水蒸氣或水滴的氣體、易燃或腐蝕性氣體等都能夠有效排出。

噪音低、振動?。哼\行時產(chǎn)生的噪音和振動較小，有助于營造相對安靜的工作環(huán)境，同時也減少了對周邊設(shè)備和環(huán)境的影響。

維護方便：軸封采用機械密封，這種設(shè)計便于維護和保養(yǎng)，降低了維護成本和停機時間。

結(jié)構(gòu)緊湊：外形尺寸為 370mm×557mm×690mm，重量為 32kg，整體結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕，便于安裝和集成到各種設(shè)備中。