天恒科儀真空高低溫探針臺(tái)通過(guò)模塊化設(shè)計(jì)，整合真空系統(tǒng)、溫控模塊與探針定位系統(tǒng)

為科研與工業(yè)測(cè)試材料與器件在溫度（-193℃至+400℃）和真空環(huán)境（10?3 mbar）下的性能測(cè)試至關(guān)重要。提供可靠的環(huán)境控制與數(shù)據(jù)采集支持。

核心技術(shù)亮點(diǎn)

寬溫域與真空環(huán)境

溫控范圍：-193℃（液氮制冷）至+400℃（電阻加熱），覆蓋超導(dǎo)、半導(dǎo)體、高溫器件的全溫區(qū)測(cè)試需求。

真空度：10?3 mbar，有效隔絕水氧干擾，確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境純凈。

協(xié)同優(yōu)勢(shì)：溫控模塊與真空系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，支持溫度下的真空或惰性氣體環(huán)境測(cè)試。

探針定位與信號(hào)采集

定位精度：XYZ三軸微調(diào)行程12mm×12mm×12mm，定位精度1.4μm（重復(fù)定位誤差±0.5μm）。

信號(hào)保真：三同軸探針夾具漏電流<100fA（25℃），結(jié)合高純度鎢探針（耐溫-200℃至+450℃），保障微弱信號(hào)的無(wú)損采集。

模塊化與擴(kuò)展兼容性

靈活配置：支持4組探針座同時(shí)工作，可擴(kuò)展探針數(shù)量及夾具類型（如高頻探針、微波探針）。

外接接口：預(yù)留電氣接口與快擰接頭，兼容光譜儀、鎖相放大器等外部設(shè)備，滿足光電同步測(cè)試需求。

安全性與操作穩(wěn)定性

液氮安全設(shè)計(jì)：定制防泄漏管路與液氮流量控制器，避免低溫操作風(fēng)險(xiǎn)。

溫控穩(wěn)定性：PID算法控制，溫度波動(dòng)±0.5℃，升降溫速率≤5℃/min（液氮模式）。

細(xì)配置參數(shù)

真空腔體系統(tǒng)：

腔體尺寸：400mm（長(zhǎng)）×400mm（寬）×100mm（高），內(nèi)部容積16L。

功能組件：

方形石英視窗（φ30mm）：支持光學(xué)觀測(cè)與光電同步測(cè)試。

快擰接口×4：用于連接真空泵、充氣閥及外部設(shè)備。

溫度控制系統(tǒng);

控溫精度：

溫度均勻性±1℃（樣品臺(tái)表面），配備20L液氮杜瓦瓶與防結(jié)霜管路。

探針定位與信號(hào)采集系統(tǒng):

樣品固定：

25mm×25mm防滑樣品臺(tái)，適配氧化鋁陶瓷絕緣片，采用彈片壓持固定。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體器件測(cè)試

電學(xué)性能分析：在寬溫域（-193℃至+400℃）下測(cè)量晶體管IV特性、電容-電壓（CV）曲線。

可靠性驗(yàn)證：高溫環(huán)境（如+400℃）中評(píng)估功率器件的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

超導(dǎo)材料研究

臨界溫度測(cè)定：在液氮溫區(qū)（-196℃）監(jiān)測(cè)超導(dǎo)材料的電阻突變行為。

量子器件表征：真空環(huán)境下測(cè)試約瑟夫森結(jié)的量子相干性，減少環(huán)境干擾。

光電器件測(cè)試

高溫光電響應(yīng)：分析LED、激光器在高溫環(huán)境下的發(fā)光效率衰減特性。

真空光電同步測(cè)試：通過(guò)石英視窗實(shí)現(xiàn)光電流與電信號(hào)的同步采集。

新能源材料研究

電極材料膨脹率測(cè)試：鋰離子電池電極在高溫（300℃）下的形變與阻抗分析。

催化劑活性研究：燃料電池催化劑在低溫真空環(huán)境中的反應(yīng)動(dòng)力學(xué)測(cè)量。

設(shè)備選型與技術(shù)服務(wù)

定制化配置：可根據(jù)需求調(diào)整探針數(shù)量、溫控范圍及真空度等級(jí)。

技術(shù)支持：提供設(shè)備安裝、操作培訓(xùn)及定期維護(hù)服務(wù)。