1.旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動，軸向竄動和回轉(zhuǎn)精度；
2.往復(fù)裝置的運(yùn)動特性和重復(fù)定位精度；
3.正弦波激振和脈激振中振動測量；
4.機(jī)器零部件相對振動相對變形；
5.盤類零件的端面振擺；
6.軸承間隙和油膜厚度；
7.檢測零部件尺寸和平直度；
8.線切割機(jī)床電極絲的振動；
9.機(jī)床主軸熱位移與動態(tài)加載試驗(yàn)測量；
10.也可用于金屬導(dǎo)體之外的絕緣物體（如大理石、塑料、砂輪、玻璃、陶瓷等）的振動、位移測量。
規(guī)格參數(shù)：
量程范圍：6mm、10mm、20mm、50mm、 60mm、100mm、200mm、400mm、500mm、600mm、1000mm、2000mm、5000mm、6000mm、10000mm等；
分 辨 率：0.01% FSO
頻響范圍：7500Hz
非 線 性：±0.25%FSO
輸出信號：0—±5.0V
零漂：≤±0.25%FSO
供電電源：±15V
外形尺寸：190mm×120mm×80mm
使用方法:
靜態(tài)位移測量
1.頻率校準(zhǔn)
接好連接線，將電極板接入傳感器探頭，并使之遠(yuǎn)離物體，按下“校準(zhǔn)”鍵，這時有電壓輸出，預(yù)熱20分鐘，調(diào)節(jié)“調(diào)零”旋扭，使輸出回到零點(diǎn)。
2.安裝傳感器，調(diào)整初始間隙，進(jìn)行測量
按下測量鍵，將傳感器借助彈性夾套安裝到磁表座（或用戶自備夾具）上，使測量電極板端面接近被測物體的表面，平面或圓柱面，盡可能平行，球面盡可能對中，調(diào)整時有“+”電壓輸出，反時針轉(zhuǎn)動傳感器微調(diào)螺母，使測量間隙逐漸增加，輸出電壓會逐漸接近零點(diǎn)，借助“調(diào)零”旋扭細(xì)調(diào)，使輸出，為0，調(diào)整時有“—”電壓輸出，順時針轉(zhuǎn)動微調(diào)螺母，使測量間隙逐漸減小，輸出電壓會逐漸接近零點(diǎn)，測量即可開始。測量時，被測物體表面接近傳感器，測量間隙減小，表示被測尺寸增加，輸出為“+”電壓，反之輸出為“—”電壓，儀器輸出的“+、—”電壓就是相對應(yīng)量程的靜態(tài)位移。
3.與儀表連接
儀器兩種量程的滿量程電壓輸出是0~±5.0V（線性區(qū)），可與高輸入阻抗儀表（計(jì)算機(jī)、電壓表、示波器、頻率計(jì)、FFT波形分析處理等）連接。
振動測量
儀器測量振動位移時，其方法基本同靜態(tài)位移測量相似，其初始間隙的調(diào)整可在被測物體啟動前進(jìn)行，也可在啟動后進(jìn)行，被測物體啟動后，儀器輸出有直流電壓和交流電壓。直流電壓是物體啟動后的浮動位移，屬靜態(tài)位移；交流電壓是物體啟動后的相對應(yīng)量程的振動位移。直流電壓分量與交流電壓分量無關(guān)。如果直流電壓遠(yuǎn)離零點(diǎn)，應(yīng)轉(zhuǎn)動傳感器微調(diào)螺母，使輸出回到零點(diǎn)附近，以振動測量有滿量程的線性工作范圍。

電容位移傳感器