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5810i 離子平衡頂置式鼓風(fēng)機(jī)Simco-Ion 思美高
5810i 離子平衡頂置式鼓風(fēng)機(jī)Simco-Ion 思美高
5810i 離子平衡頂置式鼓風(fēng)機(jī)Simco-Ion 思美高
產(chǎn)品信息
5810i 型離子發(fā)生器鼓風(fēng)機(jī)系統(tǒng)是一款高性能頂置式鼓風(fēng)機(jī)，與外部傳感器結(jié)合使用，可保持 +/- 1v 的離子平衡，適用于嚴(yán)格的靜電控制過(guò)程。
特征
■與外部傳感器（NOVX 3150/3350/3360/7000 等）
結(jié)合使用時(shí)可實(shí)現(xiàn)高精度 +/-1v 離子平衡
?。ú皇褂猛獠總鞲衅鲿r(shí)為 +/-3v）
■高潔凈兼容性
■ 5802i、5810i、5822i 型離子發(fā)生器風(fēng)機(jī)
專為在潔凈室中使用而
設(shè)計(jì)，高度潔凈且符合 ISO 4 級(jí)（聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209E 10 級(jí)）標(biāo)準(zhǔn)
■專有的自動(dòng)離子平衡控制
可延長(zhǎng)維護(hù)周期
■配備風(fēng)扇停止警報(bào)
■可選的自動(dòng)電極清潔機(jī)制
■
高可靠性和本地支持，并有 全球眾多交付記錄作為后盾
規(guī)格
| 輸入電壓 | 100-240V交流電+/-10% 50/60Hz |
|---|---|
| 外部的 | 鋁上的環(huán)氧/聚酯粉末涂料 |
| 離子發(fā)生方法 | 穩(wěn)態(tài)直流法 |
| 電極 | 鈦合金8片/扇 |
| 風(fēng)量 | 144cfm 典型值/風(fēng)扇 風(fēng)扇速度 = 高 |
| 除靜電時(shí)間 | <3秒。 45cm距離。1kv→100v。晶圓廠速度 = 高 |
| 離子平衡 | <+/-1v 典型值（帶外部傳感器）+/-3v（不帶外部傳感器） |
| 尺寸 | -32：高96毫米 x 深155毫米 x 長(zhǎng)813毫米 -40：高96毫米 x 深155毫米 x 長(zhǎng)1016毫米 -44：高96毫米 x 深155毫米 x 長(zhǎng)1118毫米 |
| 重量 | -44：鋁制機(jī)身規(guī)格4.6kg |
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