轉(zhuǎn)子設計和怠速功能,實現(xiàn)節(jié)能和小型化。 它有助于降低運營成本。 耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應用,從負載鎖和 SEM 等輕負載應用到腐蝕性工藝。
特長
通過寬范圍溫度控制實現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應對腐蝕性氣體(標準采用耐腐蝕材料)
對應應用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等
我司代理及優(yōu)勢品牌一覽明細:
代理品牌:CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈
NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗
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