手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
1. 電感耦合（Inductively Coupled Plasma, ICP）：
電感耦合等離子體是通過高頻磁場與等離子體的相互作用來傳遞能量的。在電感耦合的過程中，高頻電流通過螺線管產(chǎn)生高頻磁場，高頻磁場切割等離子體產(chǎn)生渦旋電流，從而將能量傳遞給等離子體。這種方式的優(yōu)點(diǎn)是穩(wěn)定性好，能量傳遞高效，適用于高密度等離子體的產(chǎn)生，廣泛應(yīng)用于材料刻蝕、沉積和離子輔助沉積等領(lǐng)域。
2. 電容耦合（Capacitively Coupled Plasma, CCP）：
電容耦合等離子體是通過交變電場與等離子體的相互作用來傳遞能量的。在電容耦合的過程中，兩個電極之間施加高頻交變電壓，由于等離子體與電極之間的電容效應(yīng)，導(dǎo)致等離子體內(nèi)部產(chǎn)生高頻電場，從而將能量傳遞給等離子體。這種方式的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單，能量傳遞相對低效，適用于低密度的等離子體產(chǎn)生，常用于等離子清洗、薄膜沉積等應(yīng)用場景。
總結(jié)：
電感耦合和電容耦合的主要區(qū)別在于能量傳遞的方式，電感耦合通過高頻磁場傳遞能量，適用于高密度等離子體；而電容耦合通過交變電場傳遞能量，適用于低密度等離子體。根據(jù)實(shí)際應(yīng)用場景和等離子體要求，可以選擇不同的能量傳遞方式。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心