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一、測(cè)量顯微鏡是采用用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線(xiàn)寬以及其它精密零件的測(cè)試儀器。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線(xiàn)及科學(xué)研究等部門(mén)。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)量；采用雙筒目鏡觀(guān)察。
二、主要優(yōu)點(diǎn)：小巧便攜，只需一臺(tái)計(jì)算機(jī)就可以直觀(guān)的觀(guān)測(cè)微觀(guān)放大圖像，進(jìn)行精確數(shù)據(jù)測(cè)量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶(hù)需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場(chǎng)所觀(guān)測(cè)。數(shù)碼測(cè)量顯微鏡幾年來(lái)得到廣泛的普及使用，已成為一種可靠實(shí)用的精密測(cè)量?jī)x器。
三、以裂像聚焦指示器為測(cè)量原理,采用高精度光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測(cè)方式進(jìn)行非接觸高低差測(cè)量。不僅可以對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)影像,還能觀(guān)察測(cè)量點(diǎn)的表面狀態(tài),對(duì)高度,深度,高低差等進(jìn)行測(cè)量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場(chǎng)，微分干涉，金相，偏光等多種觀(guān)察功能。所以對(duì)極細(xì)微的間隙高低差，夾雜物、微米以下的突起、細(xì)微劃痕、以及金相組織進(jìn)行觀(guān)察。
四、AFM的圖像也可以使用“恒高”模式(ConstantHeightMode)來(lái)獲得，也就是在X，Y掃描過(guò)程中，不使用反饋回路，保持針尖與樣品之間的距離恒定，通過(guò)測(cè)量微懸臂Z方向的形變量來(lái)成像。這種方式不使用反饋回路，可以采用更高的掃描速度，通常在觀(guān)察原子、分子像時(shí)用得比較多，而對(duì)于表面起伏比較大的樣品不適用。
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