平面氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)用于晶圓測量，要求系統(tǒng)在以生產(chǎn)快速運(yùn)行時(shí)，能否準(zhǔn)確識(shí)別和測量出晶圓的種種缺陷。這要求機(jī)械裝置的剛性高，精度好，能夠快速響應(yīng)使系統(tǒng)能夠快速穩(wěn)定下來，達(dá)到目標(biāo)掃描速度識(shí)別出晶圓的種種缺陷，滿足晶圓每小時(shí)生產(chǎn)效率的關(guān)鍵要求。

針對(duì)行業(yè)應(yīng)用，我司研發(fā)平面氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，平面式氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使XY軸運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)共面，兩軸的反饋機(jī)構(gòu)在同一個(gè)水平面，相當(dāng)于單軸運(yùn)動(dòng)，不存在因疊層引起的阿貝誤差，此結(jié)構(gòu)提升了動(dòng)態(tài)跟蹤誤差，高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，開發(fā)的氣浮軸承補(bǔ)償方法，提高了剛性和負(fù)載能力，以滿足高動(dòng)態(tài)響應(yīng)的要求，可實(shí)現(xiàn)快速運(yùn)動(dòng)和非?？斓奈恢谜ā?/span>

應(yīng)用如晶圓切割，光子學(xué)，掃描，以及平板顯示器制造中。該平臺(tái)均是直接驅(qū)動(dòng)、直接反饋型設(shè)備，經(jīng)過大量的測試，可確保達(dá)到的精度和穩(wěn)定性性能。更詳細(xì)的行業(yè)解決方案，歡迎致電我們共同討論