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多軸精密運動臺用于晶圓切割

來源:北京瑞邦精控科技有限公司   2022年10月27日 17:25  

多軸體制造與封測技術的復雜性,從晶圓裸片到芯片成品,中間需要經(jīng)過氧化、濺鍍、光刻、刻蝕、離子注入、以及封裝等上百道特殊的工藝步驟,半導體技術的不斷進步也帶動了上游專用材料與設備產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。就半導體材料而言,主要應用領域集中在晶圓制造與芯片封裝環(huán)節(jié)。

半導體材料行業(yè)具備產(chǎn)業(yè)規(guī)模大、細分行業(yè)多、技術門檻高、成本占比低四大特性。我司設計制造的四軸運動臺用于晶圓切割方案。

 

結構描述:

XY軸采用十字疊層式結構,三片式結構(下軸定子組件、下軸動子組件和上軸動子組件,下軸動子組件和上軸定子組件共用一個組件)組成,優(yōu)勢:盡量避免因疊層引起的阿貝誤差,影響整體精度性能。Y軸(下軸)采用直線導軌,直線電機質心驅動和光柵尺閉環(huán)反饋,有效使用行程450mm,直線導軌,直線電機和光柵尺直接安裝到大理石基座上,驅動動子組件用于Y方向步進運動。

X軸(上軸)采用精直線導軌直線電機質心驅動和光柵尺閉環(huán)反饋,有效使用行程360mm,Y軸直線導軌,直驅電機和光柵尺直接安裝到Y軸動子組件上,用于X方向連續(xù)掃描切割運動。

XY軸垂直度優(yōu)于±2arc sec.

θ軸(旋轉軸)采用直驅力矩電機,交叉滾子軸承和光柵尺閉環(huán)反饋,可360度連續(xù)旋轉,θ軸直接安裝到Y軸上。

真空吸盤安裝到θ軸上,所有部件組裝完成后相對基準面(大理石平臺表面)小于8um.

Z軸采用直線導軌,直線電機質心驅動和光柵尺閉環(huán)反饋,行程50mm,低摩擦氣缸做配重,安裝到龍門橋架上。

提供濟南青大理石基座、龍門支架和支撐鋼架,大理石主要礦物成分為輝石,斜長石,少量橄欖石,黑云母,精度000級,依終圖紙加工外觀尺寸及孔位。大理石和支撐鋼架間采用橡膠隔振,地腳采用隔振震地腳


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我公司在2小時內響應維護服務,24小時內到達現(xiàn)場維護,為更好的做產(chǎn)品售后服務工作,及時接收用戶反饋的問題。

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設備正常運行驗收后,我公司指派專業(yè)工程師負責在現(xiàn)場為貴單位提供不受人員限制的產(chǎn)品設備培訓,培訓內容包括:設備正確操作使用知識;識別初級故障及必要的恢復方法;常見故障排除方法。

 

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