背景介紹

在半導(dǎo)體行業(yè)，對微量溶解氧有嚴(yán)格的要求，若純水微量溶解氧超標(biāo)，會造成產(chǎn)品污染而影響產(chǎn)品品質(zhì)，因此需要嚴(yán)格控制溶解氧含量。半導(dǎo)體行業(yè)一般選用脫氣膜去除溶解氧，通過憎水纖維膜將液相和氣相分開，在氣相抽真空，使得氣體被去除，液相中的氣體就會擴(kuò)散到氣相中，從而達(dá)到去除溶解性氣體的作用。

上海某電子廠純水工藝段在脫鹽后及終端分配單元前安裝了脫氣膜工藝，現(xiàn)場溶解氧控制指標(biāo)要求小于 10ppb。

應(yīng)用情況

現(xiàn)場安裝了 Orb410 控制器+GA2400 微量溶解氧分析儀，用于實時監(jiān)測脫氣膜后的溶解氧含量，現(xiàn)場儀表所測得的溶解氧數(shù)據(jù)穩(wěn)定準(zhǔn)確，維持在 7~9ppb范圍內(nèi)。

總結(jié)

針對客戶現(xiàn)場工藝控制要求，Orb410+GA2400 微量溶解氧分析儀是一個很好的選擇。GA2400 專門為微量溶解氧在線監(jiān)測設(shè)計，其響應(yīng)能力快速（7.2S），重現(xiàn)性良好，維護(hù)操作簡單，不銹鋼設(shè)計堅固耐用，適用于電子行業(yè)純水溶解氧在線監(jiān)測。

溶解氧是電子行業(yè)重要的監(jiān)測指標(biāo)，其含量高低將直接影響終端產(chǎn)品品質(zhì)。在正常的維護(hù)情況下，GA2400 微量溶解氧分析儀響應(yīng)迅速，重現(xiàn)性及檢出限*現(xiàn)場測量需求，校準(zhǔn)快速，維護(hù)簡單，是一款用于純水溶解氧監(jiān)測的高性價比的在線儀表。