測(cè)量顯微鏡是光學(xué)計(jì)量?jī)x器之一種，是指配有瞄準(zhǔn)顯微鏡和坐標(biāo)工作臺(tái)的用于二維坐標(biāo)尺寸測(cè)量的光學(xué)計(jì)量?jī)x器。測(cè)量顯微鏡采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試，是一種理想的多用途的小型精密測(cè)量?jī)x器。測(cè)量顯微鏡的功能主要有以下幾點(diǎn)：
1、直角坐標(biāo)中測(cè)定長(zhǎng)度。
2、旋轉(zhuǎn)度盤測(cè)定角度。
3、用作觀察顯微鏡。
4、利用測(cè)量顯微鏡微動(dòng)載物臺(tái)的移動(dòng)，配全目鏡的十字座標(biāo)線，作長(zhǎng)度量測(cè)。
5、利用旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)與目鏡下端之游標(biāo)微分角度盤，配全合目鏡之址字座標(biāo)線，作角度量測(cè)，令待測(cè)角一端對(duì)準(zhǔn)十字線與之重合，然再讓另一端也重合。
6、利用標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)螺紋的節(jié)距、節(jié)徑、外徑、牙角及牙形等尺寸或外形。
7、檢驗(yàn)金相表面的晶粒狀況。
8、檢驗(yàn)工件加工表面的情況。
9、檢測(cè)微小工件的尺寸或輪廓是否與標(biāo)準(zhǔn)片相符。

測(cè)量顯微鏡的注意事項(xiàng)
1、測(cè)量顯微鏡的使用、維護(hù)是技術(shù)性較強(qiáng)的工作，對(duì)操作人員應(yīng)進(jìn)行專業(yè)技能培訓(xùn)，掌握必要的操作技能和建立必要的工作檢查制度。
2、對(duì)測(cè)量顯微鏡要注意正確合理安排使用。儀器的存放地點(diǎn)應(yīng)避免灰塵、潮濕、氣溫突變或含有酸堿性的氣體環(huán)境。
3、測(cè)量顯微鏡的光學(xué)部件有：目鏡、物鏡、玻璃工作臺(tái)等，光學(xué)零件的表面油污灰塵清潔，可用脫脂棉花蘸以少許酒精，輕輕揩拭，切勿將鏡片擦毛。
4、測(cè)量顯微鏡維護(hù)、保養(yǎng)、調(diào)試，未經(jīng)技術(shù)培訓(xùn)不具備專業(yè)技能的人員不要隨意拆卸調(diào)試和清洗加油。
5、電源系統(tǒng)出現(xiàn)故障，需先切斷電源，再進(jìn)行檢查。透射照明燈泡需要更換燈泡，拆除底蓋，進(jìn)行檢查更換。