現(xiàn)代過程氣體質譜分析儀都有不同的故障自我診斷功能，可以給出儀器故障的原因，給分析人員極大的方便，但是在使用中要做好維護。
過程氣體質譜分析儀日常維護
過程氣體質譜分析儀的維護分為定期維護和日常維護，目的都是排查出故障隱患，可以及時采取預防措施，避免故障的發(fā)生。
定期維護是固定期限對過程氣體質譜分析儀的*維護保養(yǎng)。這一工作一般由維修人員與儀器專責人共同完成，主要工作是對儀器各單元內部元件的工作狀態(tài)進行檢查和優(yōu)化，各動作參數(shù)進行核對校準，并檢查各易損件是否完好，對不良和可疑元件進行更換，以及儀器內部積塵的清掃等等。
日常維護是每天對過程氣體質譜分析儀的維護檢查，包括每班的點檢和每日的巡檢。每臺儀器的工作要求不盡相同，所以對每臺儀器的點檢內容、項目也不相同，這一工作當班操作者應嚴格按照點檢卡對所用儀器逐項進行仔細檢查。
以上是使用過程氣體質譜分析儀必須要做好的維護。
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