YAMADA山田光學高照度鹵素氙燈光源

半導體晶圓檢查燈是半導體制造過程中的專業(yè)照明設備，專門設計用于晶圓生產過程中的缺陷檢測和質量控制環(huán)節(jié)。隨著半導體工藝節(jié)點不斷縮?。◤奈⒚准壈l(fā)展到現(xiàn)在的納米級），對晶圓表面缺陷的檢測要求越來越高，專業(yè)的檢查照明系統(tǒng)成為確保芯片良率的關鍵因素之一。

現(xiàn)代半導體晶圓檢查燈采用優(yōu)良的光學技術和精密的光源設計，能夠提供均勻、穩(wěn)定且特定波長的高質量照明，幫助檢測人員或自動光學檢測(AOI)系統(tǒng)識別晶圓表面的微粒污染、劃痕、圖案缺陷、殘留物等各種異常情況。這些設備通常集成在潔凈室環(huán)境中，滿足半導體制造對潔凈度和穩(wěn)定性的嚴苛要求。

半導體晶圓檢查燈的特點

1. 精密光譜控制

半導體晶圓檢查燈具備精確的光譜控制能力，可提供特定波長的單色光或多色光組合。不同波長的光對各類缺陷的顯現(xiàn)效果不同，例如短波長光（如紫外或深藍光）對微小顆粒和表面拓撲結構更敏感，而長波長光可能更適合檢測某些薄膜缺陷。

2. 高均勻性照明

檢查燈設計確保照明區(qū)域內的光強分布高度均勻，通常均勻性可達90%以上，避免因照明不均導致的檢測誤差。優(yōu)良的導光技術和光學擴散系統(tǒng)是實現(xiàn)這一特性的關鍵。

3. 可調光強與穩(wěn)定輸出

設備提供寬范圍的光強調節(jié)功能，同時保持出色的光強穩(wěn)定性（通常波動小于1%），確保長時間檢測過程中的一致性，避免因光強波動導致的誤判。

4. 多角度照明設計

專業(yè)的晶圓檢查燈常配備多角度照明選項，包括同軸光、環(huán)形光、側向光、暗場照明等不同模式，以適應不同類型缺陷的檢測需求。例如，同軸光適合表面污染檢測，而暗場照明對劃痕和拓撲缺陷更敏感。

5. 潔凈室兼容性

檢查燈采用無塵設計，材料選擇上避免產生微粒污染，符合ISO 14644-1潔凈室標準。同時具備低發(fā)熱特性，減少熱對流對潔凈室氣流的影響。

6. 智能化控制

現(xiàn)代設備配備數(shù)字控制系統(tǒng)，支持預設照明方案、自動調節(jié)、遠程控制等功能，并能與自動檢測系統(tǒng)無縫集成，實現(xiàn)高效的工作流程。

YAMADA山田光學高照度鹵素氙燈光源

YAMADA山田光學高亮度鹵素光源設備YP-150I  

YAMADA山田光學高亮度鹵素光源設備YP-250I  

YP-150I 高亮度鹵素射鏡

用于Si薄片，玻璃表面的瑕疵檢查的照明光源，微小瑕疵也可被檢測出來

日本山田光學YP-150I/250I高亮度鹵素射鏡  

日本山田光學YP-150I/250I高亮度鹵素射鏡

日本山田光學YAMADA高照度鹵素強光燈YP-150I/YP-250I

高亮度鹵素光源設備

是宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導體晶片及液晶基板加工中費人工的成形製品表面
的異物、刮痕、拋光不均、霧狀、劃傷等。

概要

　　1.　可照明様品表面範囲於400.000Lx以上。

　　2.　因使用鹵素光源燈的光源，具有色溫度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。
　　　　

　　3.　冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3
　　　　

　　4.　二段切換構造，可用按扭切換高照明観察及低照明観察。
　　　　
　　　　YP-150I???照度範囲　φ30
　　　　YP-250I???照度範囲　φ60
　　　　（YP-250I的通風機可選択螺旋式風扇或管道通風機形）

銷售各類日系工業(yè)品:tokyokeiso東京計裝（流量計），kofloc科賦樂（流量計），onosokki小野測器（汽車轉速表），yamada山田鹵素（強光燈）,SSD西西蒂(離子風扇)、AND愛安得（電子天平）、SAN-EI三英(點膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機,USHIO牛尾照度計,Tsubosaka壺坂電機,IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機,lambda拉姆達膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設備、顯影）、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子（光學膜厚儀）、KOSAKA小坂（臺階儀）、HORIBA堀場儀器（分析儀）、SIBATA柴田科學（環(huán)境測定）、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、CEDAR思達