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成都藤田光學(xué)儀器有限公司
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日本HONDA本多石英振動體清洗機(jī)

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號W-357-1MQG-SKC

品       牌HONDA/本多電子

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地成都市

更新時(shí)間:2025-06-07 08:51:42瀏覽次數(shù):50次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
儀器種類 通用型 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,航空航天,電氣,綜合
日本HONDA本多石英振動體清洗機(jī)
自成立以來,本多電子株式會社一直致力于開發(fā)新的超聲波技術(shù)。
同時(shí),我們通過產(chǎn)學(xué)研究和跨行業(yè)交流,將多年來開發(fā)的許多超聲波關(guān)鍵技術(shù)在社會的發(fā)展、創(chuàng)造未來方面得以應(yīng)用。

日本HONDA本多石英振動體清洗機(jī)

石英振動體類型

下一代清洗技術(shù),實(shí)現(xiàn)低損害和高清潔度

2006年,第一臺石英振動體超聲清洗裝置投入實(shí)際使用。
在這種方法中,通過在石英振動體上疊加超聲波對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗。
與批量清洗和流水清洗相比,可以減少化學(xué)品的使用量,由于只有石英玻璃與液體接觸,沒有墊片等橡膠材料與液體接觸,因此能保持較高的清潔度。
石英振動體有不同的形狀,以適應(yīng)不同的用途,能夠根據(jù)需要進(jìn)行有效的清洗,如低損傷清洗、大面積清洗、斜面(邊緣表面)和缺口(晶圓邊緣表面的缺口)的清洗等。


概述

特長

對具有細(xì)微結(jié)構(gòu)的晶片進(jìn)行低損傷清洗

■通過在石英振動元件上疊加超聲波對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行清洗。
將超聲波振動從石英振動元件通過化學(xué)溶液傳播到半導(dǎo)體晶片上,接觸區(qū)的化學(xué)溶液振動,加速去除表面污染。
■清潔度高,對半導(dǎo)體晶圓的損害最小。
與使用橡膠材料(如墊片)的設(shè)備相比,使用石英與化學(xué)溶液接觸,可以確保清潔,而不會有橡膠溶出。
■震蕩器冷卻功能通過用氣體(如氮?dú)猓├鋮s震蕩器,可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)工作,沒有頻率波動。
冷卻還能確保沒有溫度的突然變化,從而延長使用壽命。

用途

膠體殘留物的清除
封邊和灰化后的聚合物清除
柵電極極清洗
CMP后的清洗

規(guī)格

■發(fā)振器

類型W-357-1MQG-SKC
振蕩模式單頻震蕩
額定輸出12W
標(biāo)稱震蕩頻率1MHz
電源輸入AC100V~240V
單相50/60Hz 300VA
外部尺寸
WxDxHmm
180×250×100 
(不包括凸出部分,包括橡膠腳)
質(zhì)量2.2kg

●可變的輸出范圍:0W到12W(振動體的允許輸入:當(dāng)使用空氣吹掃冷卻時(shí),連續(xù)10W)。
●周圍操作環(huán)境:溫度:15至35℃,濕度:10至85%。
●外部驅(qū)動觸點(diǎn)額定值:超聲波振蕩控制(控制側(cè))觸點(diǎn)輸入:12 V DC 16 mA min.
 報(bào)警輸出(主單元)觸點(diǎn)容量:24 V DC 0.5 A
■附屬電纜:電源線(100V為2米/200V為3米),控制線(5米)x4

■振動體

流量未指明定
全長159mm
卡盤尺寸φ24mm
照射面積24cm2
質(zhì)量600g

●工作液體溫度范圍:20-50℃。
●換能器:PZT
●材料:振動器:石英玻璃,墊片:硅橡膠,外殼:PCTFE
●線長:輸出線1.5米+繼電器線3.5米
●冷卻氣體接頭:兼容管(外徑?6)









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