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山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備 A-52-STD：高效雙面電鍍解決方案
一、工作原理
山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備 A-52-STD 是一種先進(jìn)的電鍍?cè)O(shè)備，專為晶圓的雙面同時(shí)電鍍?cè)O(shè)計(jì)。設(shè)備采用的槳式攪拌器，通過攪拌晶圓的兩面，確保電鍍?nèi)芤壕鶆蚍植?，?shí)現(xiàn)高效的雙面電鍍。其工作原理基于電化學(xué)反應(yīng)，在電鍍槽中，晶圓作為陰極，與陽極支架配合，通過電鍍電源提供穩(wěn)定的電流，促進(jìn)金屬離子在晶圓表面沉積。同時(shí)，設(shè)備配備加熱器和氣泵，可精確控制電鍍過程中的溫度和溶液流動(dòng)，確保電鍍質(zhì)量。
二、技術(shù)參數(shù)
- 型號(hào)：A-52-STD
- 適用樣品尺寸：直徑 2 至 8 英寸或 50 至 200 毫米見方的方形樣品
- 電鍍方式：雙面同時(shí)電鍍
- 攪拌方式：單槳式攪拌器
- 加熱器：AC100V，功率可選 100W、300W 或 500W
- 電源：晶圓精密電鍍電源（YPP15031WA/15100WA）
- 氣泵：適用于 M202/10L 水箱
- 過濾器：迷你迷你過濾器（20APFA/40APFA）
- 標(biāo)配附件：晶圓雙面電鍍槽、雙面電鍍用陰極盒（標(biāo)準(zhǔn)型/密封型/吸力封閉型）、陽極支架、加熱器、電源、氣泵、槳式攪拌器、過濾器、引線、空氣過濾器等
三、產(chǎn)品特點(diǎn)
- 高效雙面電鍍：設(shè)備采用單槳式攪拌器，能夠同時(shí)對(duì)晶圓的兩個(gè)表面進(jìn)行電鍍，顯著提高電鍍效率，減少加工時(shí)間。
- 高精度控制：配備高精度的電鍍電源和溫度控制系統(tǒng)，能夠精確調(diào)節(jié)電鍍電流和溶液溫度，確保電鍍層的均勻性和厚度一致性。
- 多樣化樣品適應(yīng)性：適用于直徑 2 至 8 英寸的圓形晶圓以及 50 至 200 毫米見方的方形樣品，滿足不同尺寸和形狀的電鍍需求。
- 靈活的定制選項(xiàng)：可根據(jù)客戶的具體需求定制夾具和電鍍槽的形狀，提供個(gè)性化的解決方案。
- 符合國際標(biāo)準(zhǔn)：設(shè)備設(shè)計(jì)符合 CE 標(biāo)志要求，確保安全性和可靠性
- 環(huán)保設(shè)計(jì)：使用帶溫度保險(xiǎn)絲的加熱器，增強(qiáng)保護(hù)功能，減少能耗
四、應(yīng)用場(chǎng)景
山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、MEMS、SiC、玻璃、GaAs、InP 等材料的精密電鍍。在半導(dǎo)體制造中，用于 TSV（硅通孔）和 TSG（通孔玻璃）等先進(jìn)封裝技術(shù)的電鍍工藝。此外，設(shè)備還可用于科研實(shí)驗(yàn)和工業(yè)生產(chǎn)中的各種電鍍需求，如金屬沉積、表面處理和材料改性等
五、總結(jié)
山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備 A-52-STD 憑借其高效雙面電鍍能力、高精度控制和靈活的定制選項(xiàng)，為晶圓電鍍提供了一種理想解決方案。其廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和的性能使其成為半導(dǎo)體制造和科研實(shí)驗(yàn)中的重要設(shè)備
