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應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,石油,電子/電池

微量氣體分析儀
它是可以對(duì)用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體 （N2、O2、He、Ar、H2、Air） 中的微量不純物進(jìn)行超高靈敏度、高精度 （檢測(cè)感度可至10ppb） 連續(xù)檢測(cè)的裝置。由于采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式，可以和零氣體不斷比較的同時(shí)進(jìn)行檢測(cè)，所以沒(méi)有零點(diǎn)漂移，能夠獲得長(zhǎng)期穩(wěn)定的檢測(cè)值。由于它通過(guò)19英寸RACK方式進(jìn)行了集中，所以系統(tǒng)升級(jí)也很容易。適于半導(dǎo)體氣體制造設(shè)備的質(zhì)量管理 。