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池田屋實業(yè)(深圳)有限公司
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倉庫直銷-ULVAC愛發(fā)科 ST200-R 復(fù)合電離真空計
  • 倉庫直銷-ULVAC愛發(fā)科 ST200-R 復(fù)合電離真空計
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貨物所在地:廣東深圳市

地: 日本

更新時間:2024-09-04 23:04:14

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MATSUO松尾電器
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TOKYOKODEN東京光電
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MIYACHI米亞基
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COSMO科斯莫
ULVAC愛發(fā)科 ST200-R 復(fù)合電離真空計
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

ULVAC愛發(fā)科 ST200-R 復(fù)合電離真空計

ULVAC愛發(fā)科 ST200-R 復(fù)合電離真空計

操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。

燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮小(控制器體積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。

可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當連接了可選的單元SAU時)。

用途

用于有機EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認

用于在含有多種碳氫化合物(油類)的環(huán)境中進行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

真空防潮箱由真空泵制造商提供。這是 "G-TRAN系列復(fù)合電離真空計"的新型號,可以實現(xiàn)不同的測量范圍。作為三極管電離真空計,該產(chǎn)品不易發(fā)生靈敏度下降,即使在真空計的惡劣環(huán)境下,也能實現(xiàn)更長時間、更精確的真空測量。在保留以往高壽命、低運行成本理念的基礎(chǔ)上,進行了改進,更加人性化。

特點

  • 操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。

  • 燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。


  • 可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

  • 小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

  • 更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格(ST200-A)和串行通信規(guī)格(ST200-R)之外,還將增加EtherCAT規(guī)格(ST200-E)。

  • 一臺三極管金屬電離真空計(正在申請 ):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計的使用壽命也很長。

  • 壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。

  • 可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當連接了可選的單元SAU時)。

用途

  • 用于有機EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認

  • 用于在含有多種碳氫化合物(油類)的環(huán)境中進行測量

  • 用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量

  • 用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

※在腐蝕性氣體(鹵素氣體)環(huán)境中使用時請咨詢我們。

規(guī)格

型號ST200-AST200-RST200-E
(即將上市)
規(guī)格標準規(guī)格串口通信規(guī)格EtherCAT規(guī)格
適應(yīng)多離子傳感器SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
可以連接的傳感器多離子傳感器:1本
皮拉尼真空計SWU10-R:1本(可選)
大其他傳感器SAU:1本(可選)
測量精度(N2ST200本體模式:±2%
取樣時間60ms 5回 移動平均処理
測定値出力出力電壓 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間60msec
控制輸入信號FIL ON/OFF, DEGAS ON/OFF
打開集電極動作、負邏輯
--
制御出力信號傳感器錯誤,設(shè)定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
--
串行通信規(guī)格-RS232C/RS-485EtherCAT
LED顯示POWER/ERROR: 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
發(fā)射電流2mA (1×10-2Pa以下), 10μA (1×10-2Pa以上)
DEGAS電子轟擊脫離方法(電子轟擊)1mA、330V
測量部耐圧性2×10+5Pa (絕對壓力)
* 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性
傳感器內(nèi)部容量17cm3(SWT-16), 19cm3(SWT-25)
使用溫度范圍10~50℃
使用濕度范圍15~80%(不結(jié)露)
保管溫度-20~65℃(非通電時、不結(jié)露)
IP保護等級IP30
電源電壓DC20~28V (波紋,噪音1%以下) 
8W以下
輸入/輸出連接器D-sub15銷(M2.6螺絲)
重量調(diào)節(jié)器:約280g 測定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H69mm×63mm×90mm (控制器部分)
適合規(guī)格CE
選項多離子傳感器SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
材質(zhì):燈絲1,2 -Ir/Y2O3殼,
其他:PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni電鍍
皮拉尼真空計傳感器SWU10-R ※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。
皮拉尼真空計SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材質(zhì):燈絲-Pt, 其他-BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接
大氣壓傳感器SAU(NW16) 材質(zhì):SUS316L
單位電纜GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m, GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m
顯示單元1CH:ISG1 (DC24V電源使用)
顯示單元電纜ST200~顯示單元電纜
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
連接器入出力連接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺絲))
其他検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書



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