| 型號(hào) | SH200-A | SH200-R | HT200-E
（即將上市） |
| 規(guī)格 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串口通信規(guī)格 | EtherCAT規(guī)格 |
| 適應(yīng)多離子傳感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) |
| 可以連接的傳感器 | 多離子傳感器：1本
皮拉尼真空計(jì)SWU10-R：1本（可選）
大其他傳感器SAU：1本（可選） |
| 測(cè)量精度（N2） | SH200本體模式：±2％ |
| 取樣時(shí)間 | 60ms 5回 移動(dòng)平均処理 |
| 測(cè)定値出力 | 出力電壓 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} |
| 更新時(shí)間 | 60msec |
| 控制輸入信號(hào) | FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF
打開(kāi)集電極動(dòng)作、負(fù)邏輯
* FIL ON/OFF信號(hào)使用方式因模式而異 | - | - |
| 制御出力信號(hào) | 傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定點(diǎn)1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控
定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V | - | - |
| 串行通信規(guī)格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT |
| LED顯示 | POWER/ERROR： 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化) |
| 發(fā)射電流 | 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上) |
| DEGAS | 電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V |
| 測(cè)量部耐圧性 | 2×10+5Pa （絕對(duì)壓力）
* 需要單獨(dú)考慮法蘭和夾具等的耐壓性 |
| 傳感器內(nèi)部容量 | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) |
| 使用溫度范圍 | 10～50℃ |
| 使用濕度范圍 | 15～80%(不結(jié)露) |
| 保管溫度 | -20～65℃(非通電時(shí)、不結(jié)露) |
| IP保護(hù)等級(jí) | IP30 |
| 電源電壓 | DC20～28V (波紋，噪音1%以下)
8W以下 |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15銷(xiāo)（M2.6螺絲） |
| 重量 | 調(diào)節(jié)器：約280g 測(cè)定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g |
| 外形尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm (控制器部分) |
| 適合規(guī)格 | CE |
| 選項(xiàng) | 多離子傳感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材質(zhì)：燈絲1,2 -Ir/Y2O3殼
其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni??? |
| 皮拉尼真空計(jì)傳感器 | SWU10-R ※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。 |
| 皮拉尼真空計(jì) | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材質(zhì)：燈絲－Pt, 其他－BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接 |
| 大氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L |
| 單位電纜 | GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m |
| 顯示單元 | 1CH：ISG1 (DC24V電源使用) |
| 顯示單元電纜 | SH200～顯示單元電纜
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m |
| 連接器 | 入出力連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲）） |
| 其他 | 検査成績(jī)書(shū), 一般校正試験成績(jī)書(shū), JCSS校正証明書(shū)
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