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應(yīng)用領(lǐng)域	石油,建材/家具,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合	序列號	176.0755.4908.

日本供應(yīng)ULVAC愛發(fā)科油擴(kuò)散泵PFL系列

日本供應(yīng)ULVAC愛發(fā)科油擴(kuò)散泵PFL系列

使用安裝組件可無需支架直接搭載

標(biāo)配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內(nèi)。油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。

特點(diǎn)

安裝方向自由

安裝方向沒有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

清潔真空

在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí)，碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>

用途

分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)

蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)

H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)

用于使低溫泵運(yùn)轉(zhuǎn)。將壓縮后的氦氣送出冷凍機(jī)，冷卻從冷凍機(jī)回來的高溫氦氣，使之循環(huán)。

規(guī)格

型號		PFL-22	PFL-22TM	PFL-36	PFL-52
排氣速度		10,000 L/sec	10,000 L/sec	34,000 L/sec	70,000 L/sec
極限壓力 *1		3.0×10^-4 Pa
臨界背壓		16 Pa		6.7 Pa	16 Pa
工作開始時(shí)間		40 min		60 min	60 min
液壓油		ULVOIL D-11
油量		5 L		13 L	27 L
水溫		19～25℃
冷卻水進(jìn)水口 (尺寸)		Rc 1/2×2	Rc 1/2×2	Rc 1/2×2	Rc 1/2×4
					Rc 3/8×2
冷卻水量		12 L/min	15 L/min	38 L/min	50 L/min
電壓規(guī)格		200V / 3φ
電力需求		8 kW	10 kW	開始操作時(shí) 22 kW	開始操作時(shí) 45 kW
				穩(wěn)定時(shí) 11 kW	穩(wěn)定時(shí) 30 kW
加熱器種類		盤繞加熱器	盤繞加熱器	盤繞加熱器	盤繞加熱器
推薦輔助泵 *2		PMB-040C＋PKS-070		PMB-040C＋PKS-070	PMB-060C＋PKS-070 x 2個
		(PMB1200D＋PKS-030)		(PMB1200D＋PKS-070)	PMB2400D＋PKS-070
				(PMB2400D＋PKS-070)
外形尺寸 *3	A	480 mm	480 mm	725 mm	1,000 mm
	B	630 mm	630 mm	1,022 mm	2,000 mm
	H	1,330 mm	1,330 mm	1,732 mm	2,845 mm
吸氣口		VG550	VG550	VG900	52英寸VG相當(dāng)
排氣口		VG150	VG200	VG250	VG350
重量		290 Kg		650 Kg	1,400 Kg
油位計(jì)		視口 View port		視口 View port	視口 View port
溫控器選項(xiàng)		有		有	有
恒溫器設(shè)定溫度		180		110	110

水冷擋板 (用于PFL)

型號		BW-22	BW-36	BW-52
電導(dǎo)		14,000 L/sec	54,000 L/sec	75,000 L/sec
外形尺寸 *3	D	φ680 mm	φ1,065 mm	φ1,480 mm
	T	101 mm	113 mm	165 mm
	t	26 mm	28 mm	35 mm
冷卻水進(jìn)水口(尺寸)		Rc 3/8	Rc 3/8	Rc 1/2
水容量		3 L/min	5 L/min	5 L/min
重量		28 kg	66 kg	200 kg

*1 當(dāng)冷卻水量為20℃時(shí)，極限壓力基于電離真空計(jì)。
*2 這里是根據(jù)擴(kuò)散泵最大流量來選擇輔助泵的。
*3 通常情況下，考慮到粗抽時(shí)間，使用比這里所示的更大的機(jī)械增壓泵和油回轉(zhuǎn)真空泵也是合適的。

排氣速度曲線

PFL-22

PFL-36 , PFL-52

尺寸圖

	PFL-22 , PFL-22TM	PFL-36	PFL52
A	480 mm	725 mm	1000 mm
B	630 mm	1022 mm	2000 mm
H	1330 mm	1732 mm	2845 mm

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水冷擋板 (用于PFL)

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