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應(yīng)用領(lǐng)域	石油,建材/家具,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合	序列號(hào)	176.0755.4908.

進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)渦輪分子泵UTM?B系列

使用安裝組件可無(wú)需支架直接搭載

標(biāo)配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過(guò)濾器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過(guò)濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。

特點(diǎn)

安裝方向自由

安裝方向沒(méi)有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

清潔真空

在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí)，碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>

用途

分析設(shè)備、研究開(kāi)發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)

蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)

H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)

規(guī)格

型號(hào)				UTM70B		UTM300B
泵體	冷卻方式			自然空冷	強(qiáng)制空冷	自然空冷	強(qiáng)制空冷
	法蘭口徑		吸氣口*1	VG65, ICF114, ISO063-K		VG100, ICF152, ISO100-K
			排氣口	KF16		KF16
	排氣速度 (無(wú)防護(hù)網(wǎng)時(shí))		N₂	70 L/s		280 L/s
			He	60 L/s		270 L/s
			H₂	49 L/s		220 L/s
	到達(dá)壓力 *2	烘烤后		- *3	10^-8Pa	- *3	10^-8Pa
		烘烤		10^-6Pa		10^-6Pa	10^-6Pa
	最大壓縮比			N2 : >1×10⁹, He : 4×10⁷, H2 : 4×10⁵		N2 : >1×10⁹, He : 7×10^6, H2 : 1×10⁵
	最大吸氣口壓力 4, 5, *6		N₂	0.43Pa	1.1Pa	0.06Pa	0.7Pa
	最大排氣口壓力 4, 5, *7		N₂	300Pa	900Pa	100Pa	1000Pa
	連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn) 最大流量 *8	無(wú)排放氣體	N₂	15sccm *9	40sccm *9	10sccm *10	100sccm *10
		無(wú)排放氣體	Ar	-	10sccm *9	-	30sccm *10
		有排放氣體		-	15sccm *9	-	40sccm *10
	推薦輔助泵 (10SCCM吸引時(shí) ) *11			>60L/min		>120L/min
	質(zhì)量			VG：3.3kg, ISF：3.0kg, ISO：5.0kg		6.0kg / 9.0kg	6.3kg / 9.3kg
	回轉(zhuǎn)數(shù)			87000rpm		60000rpm
	啟動(dòng)時(shí)間（Up to 80%） (DC24V 背圧:5Pa以下時(shí)）			1.7 min		3.5 min
	表面處理 *12			無(wú)
	安裝方向			安裝可能
	噪音 *13			<48dB(A)		<50dB(A)
控制器	輸入電源			DC24V ±5%, 120W		DC24V ±5%, 180W
	觸點(diǎn)輸入輸出			REMOTE(D-sub 15針公頭)數(shù)字輸入/輸出4點(diǎn)，模擬輸出1點(diǎn)
	串行通信			RS-485(D-sub 15針公頭,與REMOTE共用)
	LED顯示			POWER,NORMAL,ALARM
	開(kāi)關(guān)			START/STOP,RESET
	回轉(zhuǎn)數(shù)可變機(jī)能			在泵規(guī)定回轉(zhuǎn)數(shù)25%～100%間、可以變更運(yùn)轉(zhuǎn)回轉(zhuǎn)數(shù)。（設(shè)定為0.1%單位）
	異常檢測(cè)			報(bào)警，檢測(cè)警告內(nèi)容
	保護(hù)動(dòng)作			報(bào)警，顯示警告內(nèi)容
標(biāo)準(zhǔn)附屬品				使用說(shuō)明書(shū)（CD-R）、防護(hù)網(wǎng)（僅限VG、ICF。ISO法蘭的已組入墊片）、墊片（吸氣口用）、防塵帽（吸氣口、排氣口、連接器用）各1個(gè)
合格標(biāo)準(zhǔn)				CE, TUVus

*1	訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)選擇吸氣口法蘭。
*2	使用2段式輔助泵時(shí)
*3	僅限于使用ICF法蘭強(qiáng)制空冷時(shí)才能烘烤。
*4	周圍溫度為25°C時(shí)的值。允許值隨周圍溫度變化而變化。
*5	不能同時(shí)滿足最大吸氣口壓力和最大排氣口壓力。
*6	為可連續(xù)排氣的最大吸氣口壓力。
*7	來(lái)自進(jìn)氣口的排氣流量為0sccm時(shí)的可連續(xù)運(yùn)行的排氣口的最大壓力。
*8	周圍溫度為5～25°C時(shí)的值。排放氣體請(qǐng)使用N2以25sccm進(jìn)行。
*9	以60L/min使用輔助泵時(shí)的值。
*10	以120L/min使用輔助泵時(shí)的值。
*11	氣體量較大時(shí)，在選擇輔助泵時(shí)請(qǐng)保證排氣口的壓力要在最大排氣口壓力以下。
*12	請(qǐng)勿流入反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體、含Ga氣體。其他相關(guān)問(wèn)題請(qǐng)聯(lián)系我們。
*13	ISO法蘭型。依據(jù)本公司的測(cè)量方法。