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ULVAC愛(ài)發(fā)科 羅茨型干泵真空泵
高溫均勻分布：在CVD、蝕刻等工藝下使反應(yīng)性氣體(升華性氣體)可以以氣體形態(tài)排氣。
可以減少氣體固化量。
強(qiáng)耐腐蝕性：主要零件采用耐腐蝕性強(qiáng)的表面處理。減少腐蝕性氣體排氣時(shí)的腐蝕性。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
ULVAC愛(ài)發(fā)科 羅茨型干泵真空泵
ULVAC愛(ài)發(fā)科 羅茨型干泵真空泵
ULVAC集團(tuán)成立于1952年。自創(chuàng)業(yè)以來(lái)，與液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件以及汽車、食品和制藥等一般工業(yè)設(shè)備等廣泛行業(yè)的業(yè)務(wù)合作伙伴一起，通過(guò)挑戰(zhàn)利用真空技術(shù)創(chuàng)造創(chuàng)新，努力創(chuàng)造新的價(jià)值。在顯示器、半導(dǎo)體、電子、電氣、金屬、機(jī)械、汽車、化工、食品、制藥等行業(yè)以及大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)的真空設(shè)備、周邊設(shè)備、真空元件和材料的開(kāi)發(fā)、制造、銷售、客戶支持、進(jìn)出口。此外，還是真空技術(shù)的研究主管和技術(shù)顧問(wèn)。旨在通過(guò)相互合作和協(xié)作以及真空技術(shù)和周邊技術(shù)的綜合使用，為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
利用鋁材優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性能使排氣腔室整體高溫分布均勻。適用于半導(dǎo)體?電子設(shè)備和顯示器制造的
CVD或蝕刻等會(huì)產(chǎn)生升華性氣體的工藝
高溫均勻分布：在CVD、蝕刻等工藝下使反應(yīng)性氣體(升華性氣體)可以以氣體形態(tài)排氣?？梢詼p少氣體固化量。
• 強(qiáng)耐腐蝕性：主要零件采用耐腐蝕性強(qiáng)的表面處理。減少腐蝕性氣體排氣時(shí)的腐蝕性
型號(hào)：
LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
LR300 LR600 LR1200 LR1800
LR3601 LR3601-T LR3601-R LR3601-TR
HR60 HR90 UR421-T
HR300 HR600 UR600
HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT