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深圳市京都玉崎電子有限公司
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產品簡介
| 電動機功率 | 108WkW | 外形尺寸 | 102×122×92mmmm |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,建材/家具,電子/電池,汽車及零部件,電氣 | 重量 | 1.2kg |
| 訂貨號 | 137*/1702/*3088 |
ARROWS玉崎小王子晶圓邊緣視覺檢測設備
產品介紹
ARROWS玉崎小王子晶圓邊緣視覺檢測設備
ARROWS玉崎小王子晶圓邊緣視覺檢測設備
這是盒式到盒式自動晶圓邊緣檢查機。每張檢查時間為 10 秒，節(jié)拍時間為 30 秒，實現了高吞吐量。機器人從25片晶圓存儲盒中一張一張取出晶圓，進行自動對準、檢查，然后將其存儲在晶圓盒中。易于操作。
可以自動檢查劃痕、異物、缺口和裂紋等缺陷。
我們在每張 30 秒內（包括運輸時間）進行高速檢查。
這是一款增加了新功能、更容易使用的高精度檢查機。
緊湊且省電的設計。交流100V8A
外形尺寸 w1200×d900×h1600mm 重量 160kg
只需放置好晶圓盒并按下操作按鈕，機器人就會將晶圓一張一張取出并輸送至檢測站。圖像對準后，晶圓的外邊緣和三個頂面和底面同時被拍照并檢查是否有劃痕、異物、裂紋和缺口等缺陷，然后返回到晶圓盒中。
通過吸附在晶圓背面進行檢查，相機識別凹口/定向平面并對其進行最佳控制。
?特點?
1. 可以同時進行三個邊緣成像、整個晶圓周邊成像以及缺陷檢查。
2. 三光學系統(tǒng)允許使用一臺線相機檢查三個表面。
3. 集成照明為邊緣檢查創(chuàng)造了理想的照明。
4. 可以進行包括定向平面/缺口在內的外觀檢查。（僅檢查凹口的斜面。）
5. 高性能，測量分辨率為10μm，檢測缺陷尺寸為20μm，通過/失敗判斷缺陷為50μm。
?功能?
?功能?
1. 自動對準機構：利用圖像自動對準晶圓中心和檢查中心。
2. 三面獨立設置：可進行檢驗條件配方和照明設置。
3. 復檢功能：可對判定為NG的晶圓進行目視復檢。
4. 顯示更改功能：通過放大和反轉功能，現在可以更輕松地查看原始圖像。
5. 大的污垢和標記可以與缺陷分開。檢驗點
同時拍攝晶片的邊緣表面A、頂表面B和底表面C的圖像。三光學系統(tǒng)允許從兩側檢查斜面，從而可以跨邊界檢查缺陷。
