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當(dāng)前位置：洛塔爾國(guó)際貿(mào)易（東莞）有限公司>>Vatvalve>> 12136-JA03vatvalve超高真空閥閥門
12136-JA03
Vatvalve
經(jīng)銷商
東莞市
更新時(shí)間：2024-12-07 08:33:10瀏覽次數(shù)：1160次
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| 電動(dòng)機(jī)功率 | 5kW | 外形尺寸 | 8*1mm |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 | 重量 | 2kg |
過(guò)程控制和隔離
真空和氣體流的高精度控制和隔離在半導(dǎo)體制造中是至關(guān)重要的。在上游和下游過(guò)程中，所有的閥門功能必須保證在大量的循環(huán)中具有精確的重復(fù)性。其結(jié)果是：在規(guī)定的時(shí)間間隔內(nèi)精確的體積流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔離閥在此設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。
用于半導(dǎo)體制造的控制和隔離的VAT真空閥組合總是根據(jù)特殊的要求而定制方案。根據(jù)不同的要求和應(yīng)用領(lǐng)域，各個(gè)系列的性能參數(shù)和使用的閥門技術(shù)總是適應(yīng)每個(gè)案例中客戶的具體需求。其主要特點(diǎn)包括，可適應(yīng)的打開和關(guān)閉周期，穩(wěn)定的自適應(yīng)密封，優(yōu)良的控制器技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度的控制，防止顆粒的激活和釋放，以及高制造質(zhì)量，保證所制造的每個(gè)閥門都有確定的、穩(wěn)定的性能參數(shù)。要了解更多關(guān)于VAT真空閥解決方案如何解決控制和隔離方面的挑戰(zhàn)，請(qǐng)從下面列出的系列中選擇。
vatvalve超高真空閥f閥門12136-JA03
2.1 全真空閘閥關(guān)鍵特點(diǎn)
特點(diǎn):
設(shè)計(jì)可靠、成熟
避免產(chǎn)生顆粒的 VATLOCK 技術(shù)
機(jī)械鎖定在關(guān)閉位置
優(yōu)勢(shì):
性能可靠
分體式設(shè)計(jì)，易于清潔
購(gòu)置成本低
技術(shù)數(shù)據(jù)
尺寸 DN 63 – 320 mm (2?" – 12")
驅(qū)動(dòng)器氣動(dòng) 雙作用
手動(dòng) 帶推桿
閥體材料 鋁
進(jìn)給機(jī)構(gòu) 軸進(jìn)給機(jī)構(gòu)
標(biāo)準(zhǔn)法蘭 ISO-F, JIS
泄漏率閥體 < 1 × 10-9 mbar ls-1
閥座 < 1 × 10-9 mbar ls-1
壓力范圍 1 × 10-10 mbar to 1.6 bar (絕對(duì)壓強(qiáng)) (DN 63 – 200)
1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (絕對(duì)壓強(qiáng)) (DN 250 – 320)
閥板可承受壓差閥板 ≤ 1.6 bar (DN 63 – 200)
≤ 1.2 bar (DN 250 – 320)
打開時(shí) ≤ 30 mbar
維護(hù)前開關(guān)次數(shù) 20萬(wàn)次 (DN 63 – 100)
10萬(wàn)次 (DN 160 – 320)
溫度閥體 ≤ 120 °C
手動(dòng)和氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器 ≤ 80 °C
電磁閥 ≤ 50 °C
位置指示器 ≤ 80 °C
加熱和冷卻速率 ≤ 30 °C h-1
材質(zhì)閥體 EN AW-5083 (3.3547,
EN AW-6061 (3.3211) (DN 63 – 100)
EN AC-42100 (3.2371) (DN 160 – 320)
機(jī)構(gòu) AISI 304 (1.4301) (DN 63 – 100)
EN AW-6082 (3.2315) (DN 160 – 320)
密封閥帽、閥板 氟橡膠（例如 Viton®）
安裝位置 任何位置
電磁閥 24 VDC，5.4 W（可根據(jù)要求提供其他值）
位置指示器：觸點(diǎn)額定值電壓 ≤ 250 VAC ≤ 50 VDC
電流 ≤ 2 A ≤ 1.2 A
閥門位置指示 視覺（機(jī)械）
超高真空隔離的標(biāo)準(zhǔn)
真空隔離標(biāo)準(zhǔn)
出色的可靠性
快速且精準(zhǔn)的下游壓力控制
快速且精準(zhǔn)的下游壓力控制和隔離
高壓高溫解決方案
適用于高循環(huán)真空控制和隔離
適用于標(biāo)準(zhǔn)真空控制和隔離
可優(yōu)化半導(dǎo)體與顯示器系統(tǒng)中的下游壓力控制和隔離
高過(guò)程壓力、低流量腐蝕性蝕刻應(yīng)用的理想之選
流量?jī)?yōu)化壓力控制
體積小巧，性能出眾
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