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深圳市矢量科學儀器有限公司

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原子層沉積（ALD）

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號FlexAL

品牌OXFORD/英國牛津

廠商性質經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間：2024-08-12 11:04:26瀏覽次數(shù)：357次

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價格區(qū)間 面議 應用領域 能源,電子/電池,電氣
FlexAL系統(tǒng)可提供遠程等離子體原子層沉積（ALD），這為納米結構和器件的工程設計提供了一系列新的靈活性和可行性。ALD產品家族涵蓋的系列設備可以滿足學術界、企業(yè)研發(fā)和小規(guī)模生產的多種需求。

  • 在同一設備中可靈活使用遠程等離子體與熱ALD

  • 集群式配置保證始終于真空下傳送襯底

  • 盒式對盒式操作可提高產能以適于量產

  • 對材料和氣體/液體源的選擇具有更大的靈活性

  • 等離子體ALD可進行低溫工藝

  • 使用遠程等離子體以確保低損傷

  • 通過配方驅動的軟件界面實現(xiàn)可控的和可重復的工藝

  • 可處理高達200mm的晶圓


  • 牛津儀器有大量的工藝儲備，并且還在不斷開發(fā)新的工藝。我們?yōu)樗械腁LD設備提供延續(xù)不斷的工藝支持，我們還將為您提供關于開發(fā)新材料的建議，同時繼續(xù)與您共享包括新工藝配方在內的新的ALD工藝進展。

  • 氣體/液體源前驅體模式上 - 一體化手套箱 —— 實時轉換

  • 一體化端口 - 允許添加實時橢偏儀測量工具

  • 集群式配置 - 始終于真空下傳送襯底

  • 盒式對盒式操作 - 可提高產能以適于量產

  • 機器手臂與片盒式 - 可處理100mm，150mm或200mm晶圓（無需額外設備進行晶圓交換）

  • 所有系統(tǒng)都可以放置于超凈間內或嵌入墻體 - 易于放置

  • 自動化的200mm晶圓真空傳送 - 工藝靈活性




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