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富士工業(yè)超聲波濃度計
  • 富士工業(yè)超聲波濃度計
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貨物所在地:山東煙臺市

更新時間:2024-12-30 21:00:07

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富士工業(yè)超聲波濃度計 FUD-1 Model-13 CMP用/汎用薬液用
可根據(jù)檢量線的交換測量各種半導(dǎo)體藥液的濃度。
發(fā)信器小型、輕量,可直接在線裝置。
免保養(yǎng)設(shè)計。
接液部分全部采用(PFA)材料。
小型輸出設(shè)計,對藥液沒有影響。

富士工業(yè)超聲波濃度計 


  超聲波液體濃度計單成分用


  半導(dǎo)體制造用


  FUD-1Model-13


  測量原理


  超聲波在液體中非常易于傳播。


  超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。


  「濃度變化」→「密度變化」→「音速變化」


  本產(chǎn)品利用超聲波的特性,高精度的測量溶液的濃度。


  測量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」→通過CPU演算處理→濃度顯示


  可根據(jù)檢量線的交換測量各種半導(dǎo)體藥液的濃度。


  發(fā)信器小型、輕量,可直接在線裝置。


  免保養(yǎng)設(shè)計。


  接液部分全部采用(PFA)材料。


  小型輸出設(shè)計,對藥液沒有影響。


  單成分濃度計的特點


  實時濃度測量可能,濃度管理系統(tǒng)構(gòu)筑也簡單


  模擬DC4~20mA及數(shù)字RS232C標準裝備


  標準配備測量錯誤輸出和警報輸出


  標準裝備自己診斷功能·錯誤信息表示


  小型·輕量小區(qū)型發(fā)信器在線直接設(shè)置可能


  采用PFA的接液構(gòu)件、小輸出設(shè)計對藥液沒有影響


  優(yōu)點


  高精度連續(xù)計測可能


  無需定期調(diào)整、校對,無需維護


  設(shè)置時的各種調(diào)整等不需要也容易設(shè)置


  由于實時輸出的工程的反饋也容易


  用途


  在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等


  稀釋工程的各種藥液濃度管理等(H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等)


  在清洗過程中的清洗液濃度管理等(HF?NH4OH?KOH?IPA等)


  蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等(HF?H2SO4等)


富士工業(yè)超聲波濃度計 

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