美國API激光干涉儀介紹

API XD Laser激光干涉儀

API XD Laser激光干 涉儀，一次安裝即可以測得6個參數(shù),包括1個位置度誤差、2個直線度誤差和3個角度誤差。通常時間需數(shù)天進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成。實際應用結(jié)果表明:工作效率提升5倍。該儀器體積小、重量輕，可以直接安裝到機床導軌.上。

API XD Laser 6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉鏡和6D傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學相位探測器識別后進行電子計數(shù)，記錄精確長度位置。第二束光作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得。第三束光用作裝在6D .傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)