您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
CVD管式爐使用注意事項(xiàng)說明
1. 冷爐使用時(shí)，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。爐膛的溫度大于等于200攝氏度是，禁止打開爐膛，避免受到傷害。
2. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固，避免出現(xiàn)電路故障。
3.CVD管式爐使用或長時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐體。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。
4.設(shè)備使用時(shí)，爐管內(nèi)的壓力不得超過0.02MPa以防止壓力過大造成設(shè)備損壞；當(dāng)爐體的溫度高于1000攝氏度時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)需是常壓常壓狀態(tài)，與大氣壓基本保持一致；在對(duì)樣品加熱時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥、進(jìn)氣閥。若要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的顯示值，絕對(duì)壓力表讀書不要大于0.02MPa必須立刻打開排氣閥門，以防發(fā)生意外。
5. 爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透是石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正?，F(xiàn)象。