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不斷提高真空擴(kuò)散泵的性能和質(zhì)量,進(jìn)一步滿足市場(chǎng)需求

閱讀:1454        發(fā)布時(shí)間:2022-5-6

   真空擴(kuò)散泵是達(dá)到高真空環(huán)境的常規(guī)產(chǎn)品,真空擴(kuò)散泵的工作原理是這樣的:在前級(jí)真空泵所造成的低真空(4×10-1Pa)條件下,加熱泵內(nèi)硅油,使受熱沸騰蒸發(fā),生成蒸氣,以*速度通過(guò)該泵的各級(jí)噴口的縫隙噴出,使容器內(nèi)部的氣體分子擴(kuò)散到蒸汽中被帶到前級(jí)真空泵所能作用的位置,由前級(jí)真空泵迅速抽出,使系統(tǒng)達(dá)到高真空的要求,極限壓力可到5×10-4Pa。GTK150高真空擴(kuò)散泵系統(tǒng)是我司自主研發(fā)的,將相互匹配的前級(jí)真空泵、擴(kuò)散泵、復(fù)合真空計(jì)有效集成在一起,具有體積小、重量輕、節(jié)能高效的特點(diǎn)。

擴(kuò)散泵高真空系統(tǒng).jpg

圖1 GTK150高真空擴(kuò)散泵機(jī)組

  

如何進(jìn)一步提高真空擴(kuò)散泵性能和質(zhì)量,主要有以下的一些方面考慮:

1)目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)擴(kuò)散泵的廠家較多,型號(hào)、尺寸不統(tǒng)一,大泵越作越大,小泵則很少生產(chǎn),而且對(duì)泵的全面性能也沒(méi)有考核指標(biāo)。行業(yè)內(nèi)為了提高擴(kuò)散泵的性能和質(zhì)量,應(yīng)當(dāng)定期進(jìn)行檢查、組織生產(chǎn)廠家加大研發(fā)、多做改進(jìn)工作,使用戶配套方便。

2)在結(jié)構(gòu)方面的改進(jìn):要縮小尺寸、降低重量,保證零件的加工精度,可增加級(jí)數(shù),提高在4×10-1Pa時(shí)的抽氣量,并給出幾種常用的被抽氣體的抽氣量。

3)增加附件設(shè)備:如設(shè)置擋油帽,過(guò)熱保護(hù)裝置(對(duì)冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測(cè)和自動(dòng)保護(hù)可自動(dòng)切斷和復(fù)位),出口壓力的監(jiān)控設(shè)備等等。

4)規(guī)定油量的最大值和最小值和耗油量(如0.5-0.7 g/h等);要觀察油位,以方便用戶及時(shí)注油;從觀察窗看泵油變質(zhì)情況以便及時(shí)更換。

5)給出合適的前級(jí)泵的容量。

6)為了節(jié)能加熱功率要可調(diào),要快速起動(dòng)和快速冷卻停泵,提高設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)率。

7)給出各種被抽氣體的性能曲線,最好給出對(duì)一些氣體的壓縮比方便用戶選用。

8)接入PC數(shù)字化控制,保證運(yùn)行正常,并提供故障自動(dòng)診斷功能

9)密封處要選高質(zhì)量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。




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