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[供應(yīng)]磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列
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  • 磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列
貨物所在地:
上海
更新時(shí)間:
2025-03-18 22:00:31
有效期:
2025年3月18日 -- 2026年3月18日
已獲點(diǎn)擊:
54
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(聯(lián)系我們,請(qǐng)說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

產(chǎn)品簡介

磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列使用磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無油的排氣,而且維護(hù)周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產(chǎn)品。
OSAKA渦輪分子泵由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi),附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn),分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。

詳細(xì)介紹

磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列


磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列

渦輪分子泵由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi),附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn),分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。 同時(shí),從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子,也能通過與轉(zhuǎn)子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是,上層的氣體分子容易通過(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度,而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域,渦輪分子泵是通過該轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片發(fā)揮基本性能


主要特點(diǎn)

?無油的超真空環(huán)境

?機(jī)械式的氣體分子排氣(動(dòng)態(tài)排氣),對(duì)所有的氣體的排氣速度大致相同

?可排稀有氣體和腐蝕性氣體

?可連續(xù)排大流量氣體

?可工作的壓力范圍寬。 (~10-10Pa).

OSAKA磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列

使用磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無油的排氣,而且維護(hù)周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產(chǎn)品。

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M


新型磁懸浮軸承型渦輪分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特長


  • 省電力設(shè)計(jì)

  • 工作數(shù)據(jù),軸承接觸次數(shù),機(jī)種情報(bào)等都可存儲(chǔ)于分子泵本體                                                                                                                                     ※進(jìn)行保養(yǎng)時(shí)即使更換控制器,數(shù)據(jù)也可進(jìn)行轉(zhuǎn)移

  • 多種通信規(guī)格(可對(duì)應(yīng)EtherCAT)

  • 國際規(guī)格

  • 符合CE,SEMI-S2,NRTL規(guī)格

    應(yīng)用場合:


  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備

  • FPD制造設(shè)備

  • 太陽能電池制造設(shè)備

  • 玻璃/鏡片等光學(xué)部件加工

  • 薄膜加工

  • 加速器/宇宙環(huán)境實(shí)驗(yàn)設(shè)備

    技術(shù)參數(shù):

  • 磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列

    磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列

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