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ULVA低溫泵
CRYO-U 系列
CRYO-U10HSP
ULVAC CRYOGENICS
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有的產(chǎn)品陣容供您選擇。
特點(diǎn)
適合濺射應(yīng)用。
氬氣容量是現(xiàn)有型號（U10H）的2倍。
再生時間間隔延長意味著更高的可用性。
可以進(jìn)行多個連接
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
ULVAC愛發(fā)科低溫泵
CRYO-U 系列
CRYO-U10HSP
ULVAC CRYOGENICS
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有的產(chǎn)品陣容供您選擇。
特點(diǎn)
適合濺射應(yīng)用。
氬氣容量是現(xiàn)有型號（U10H）的2倍。
再生時間間隔延長意味著更高的可用性。
可以進(jìn)行多個連接（多3個）。
新款ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)低溫泵壓縮機(jī)單元
新款ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)低溫泵壓縮機(jī)單元
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
特點(diǎn)
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運(yùn)行時以及泵停止時，碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>
用途
分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
用于使低溫泵運(yùn)轉(zhuǎn)。將壓縮后的氦氣送出冷凍機(jī)，冷卻從冷凍機(jī)回來的高溫氦氣，使之循環(huán)。
ULVAC愛發(fā)科低溫泵型號：
